高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)超
大空心軸徑氣浮轉(zhuǎn)
精密超精密氣浮轉(zhuǎn)
真空平臺(tái)中精微球
電主軸中精微精密
納米級(jí)中精微通孔
中精微高控精密氣
高控氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)中精
質(zhì)心臺(tái)運(yùn)動(dòng)誤差小
中精微儀器設(shè)備氣
中精微數(shù)控質(zhì)心臺(tái)
納米級(jí)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)數(shù)
大空心軸徑中精微
大空心軸徑高精度
球面高精度氣浮轉(zhuǎn)
空氣軸承自動(dòng)化程
中精微儀器設(shè)備-
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)空氣軸承
中精微納米級(jí)高控
直接耦合通孔直徑
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