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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積半導(dǎo)體 IGZO 薄膜
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積半導(dǎo)體 IGZO 薄膜 價格:1  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
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伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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詳細(xì)介紹

河北某大學(xué)實驗室在研究 IGZO 薄膜的特性試驗中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源, 濺射沉積半導(dǎo)體 IGZO 薄膜.


伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

型號

RFICP140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

試驗采用射頻(RF)磁控濺射沉積方法, 在室溫不同壓強下在石英玻璃襯底上制備出高透光率與較好電學(xué)性質(zhì)的透明氧化物半導(dǎo)體 InGaZnO4(IGZO)薄膜, 并對薄膜進行X線衍射(XRD)、生長速率、電阻率和透光率的測試與表征.

 

結(jié)果表明:

實驗所獲樣品 IGZO 薄膜為非晶態(tài), 薄膜最小電阻率為 1.3×10^-3Ω·cm, 根據(jù)光學(xué)性能測試結(jié)果, IGZO 薄膜在 200~350nm 的紫外光區(qū)有較強吸收, 在 400~900nm 的可見光波段的透過率為 75%~97%.

 

相比傳統(tǒng)的有以下優(yōu)點:

更小的晶體尺寸, 設(shè)備更輕;全透明, 對可見光不min感, 能夠大大增加元件的開口率, 提高亮度, 降低功耗的電子遷移率大約為, 比傳統(tǒng)材料進步非常明顯, 面板比傳統(tǒng)面板各方面都有提升.

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.


伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

 

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