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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射沉積納米純 Ti 薄膜
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射沉積納米純 Ti 薄膜 價(jià)格:11  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國(guó)
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2021-02-22 17:28:45 瀏覽量:151
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

 Ti 薄膜具有優(yōu)異的力學(xué)性能、熱穩(wěn)定性、生物相容性和良好的抗摩擦磨損性被廣泛應(yīng)用于航空、醫(yī)療器械、光學(xué)和微電子器件等領(lǐng)域因此具有重要的研究?jī)r(jià)值.

 

西安某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室在納米純 Ti 薄膜的研究中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射沉積納米純 Ti 薄膜制備出的純Ti薄膜可集膜層致密光滑、沉積速率快和平均晶粒尺寸小于20nm等優(yōu)點(diǎn).

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

RFICP220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦,  平行,  散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

可選燈絲中和器可變長(zhǎng)度的增量

KRI 射頻離子源 RFICP 220

該濺射沉積是在真空 9×10-5Pa—3×10-4Pa 的真空腔里, 通入氣流量為 70ml/min 的氬氣利用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 產(chǎn)生的氬離子轟擊靶材濺射沉積 Ti 膜層鍍膜持續(xù)時(shí)間3090min完成鍍膜的樣品待冷卻后取出.

 

KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

 

因此該研究項(xiàng)目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計(jì),  美國(guó) KRI 考夫曼離子源,  美國(guó)HVA 真空閥門,  美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī),  美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的代理商.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論,  請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺(tái)灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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