| KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 用于鋁表面濺射沉積 ZrN 薄膜 |
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價(jià)格：11 元(人民幣) | 產(chǎn)地：美國(guó) |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2021-01-12 15:38:36 | 瀏覽量：192 | |
伯東企業(yè)(上海)有限公司
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河北某大學(xué)研究室為了研究磁控濺射時(shí)間和氮?dú)饬髁繉?duì) ZrN 薄膜色度的影響, 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助在鋁表面濺射沉積ZrN 薄膜
KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.
試驗(yàn)結(jié)論: 隨著磁控濺射時(shí)間的增長(zhǎng), 薄膜的亮度在減少, 黃藍(lán)值在 3 min時(shí)出現(xiàn)最大值, 說(shuō)明鍍膜時(shí)間在 3 min 時(shí)最接近黃色, 紅綠值波動(dòng)比較大; 而氮?dú)饬髁吭?/span> 13~18 sccm 內(nèi), 薄膜顏色呈金黃色.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門(mén), 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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