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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 濺射制備類金剛石 Ta-C 涂層
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 濺射制備類金剛石 Ta-C 涂層 價(jià)格:11  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國(guó)
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2021-01-07 15:56:43 瀏覽量:138
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

上海某大學(xué)研究室在離子濺射制備類金剛石 Ta-C 涂層研究中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 作為濺射源

 

KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號(hào)

RFICP380

Discharge 陽(yáng)極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 KRI 考夫曼離子源 RFICP 380

 

該實(shí)驗(yàn)以 99.9% 純度 Ti 靶和純度石墨靶為原材料通過(guò)離子濺射技術(shù)在硬質(zhì)合金表面制備 Ta-C涂層.

 

研究結(jié)果:

石墨靶濺射時(shí)間 55min 時(shí)制備的 Ta-C涂層綜合性能較優(yōu)涂層摩擦系數(shù)較低達(dá)到 0.13, 對(duì)膜副表面形成了石墨轉(zhuǎn)移膜對(duì) Ta-C 涂層起到潤(rùn)滑作用.

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計(jì)美國(guó) KRI 考夫曼離子源美國(guó)HVA 真空閥門美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī)美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺(tái)灣伯東王女士
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