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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 應(yīng)用于 AlTiN 涂層研究
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 應(yīng)用于 AlTiN 涂層研究 價格:11  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
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伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
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郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

四川某大學(xué)實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數(shù)對兩組試樣 AlTiN 涂層力學(xué)性能的影響旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的最佳工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.

 

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

型號

RFICP140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

AlTiN 涂層具有高抗氧化性良好熱硬性摩擦系數(shù)低與基體之間結(jié)合力強耐磨性強等優(yōu)點因此AlTiN涂層在機(jī)械加工行業(yè),尤其是在刀具領(lǐng)域,一直是研究的熱點.

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)導(dǎo)者已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī)美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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