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300度無(wú)氧烘箱 堅(jiān)膜固化烘箱 百級(jí)無(wú)塵烘箱
300度無(wú)氧烘箱 堅(jiān)膜固化烘箱 百級(jí)無(wú)塵烘箱 價(jià)格:15000  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海閔行區(qū)
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:上海閔行區(qū)
上架時(shí)間:2020-12-24 14:43:22 瀏覽量:416
上海旦順實(shí)業(yè)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類(lèi)型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):干燥設(shè)備/烘干設(shè)備 主要客戶(hù):電子,半導(dǎo)體,LED
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:蔣鑫 (小姐) 手機(jī):15221744475
電話(huà): 傳真:
郵箱:sale@done-e.com 地址:上海市滬亭公路71弄35號(hào)

詳細(xì)介紹

300度無(wú)氧烘箱 堅(jiān)膜固化烘箱 百級(jí)無(wú)塵烘箱

智能烘箱過(guò)程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過(guò)程管理?刂品奖、操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!

無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFTCOMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。

烘箱主要參數(shù)介紹:

溫度范圍:室溫+20℃~300/400/500/600

規(guī)格尺寸:

型號(hào)

工作尺寸(mm)

功率

COL-1-PC

W450×H350×D450

3.5Kw

COL-2-PC

W450×H700×D450

5.5Kw

均勻度:±1.5%

潔凈等級(jí):Class10  Class100(潔凈度要求可根據(jù)客戶(hù)需求配置)

含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根據(jù)客戶(hù)需求配置)

升溫速度:常溫~+600,升溫速率:0~7/min,升溫斜率程序可控

降溫速度:降溫斜率程序可控

控制系統(tǒng):PCL+PC工控電腦。

公司名稱(chēng):上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

業(yè)務(wù)經(jīng)理:蔣鑫;  手機(jī)號(hào):15221744475

24小時(shí)服務(wù)熱線(xiàn):400-823-8860

公司主頁(yè):www.espec.com.cn


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