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Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 用于制作閃耀羅蘭光柵
Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 用于制作閃耀羅蘭光柵 價格:11  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2020-12-23 16:02:06 瀏覽量:214
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機:15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

長春某研究所在制作閃耀羅蘭光柵的研究中采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE,制造出的閃耀羅蘭光柵比其他工藝制造的光柵產(chǎn)品整體衍射效率高25%, 實現(xiàn)高衍射效率閃耀羅蘭光柵制作且工藝可控、穩(wěn)定所制作的閃耀羅蘭光柵衍射效率高于市場同類產(chǎn)品.

 

Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 技術(shù)參數(shù):

基板尺寸

< Ф8 X 1wfr

樣品臺

直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

離子源

16cm 考夫曼離子源

均勻性

±5% for 4”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100

 

Hakuto 離子刻蝕機 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

 

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術(shù)參數(shù):

 離子源型號

 離子源 KDC 160 

Discharge

DC 熱離子

離子束流

>650 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

16 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

2-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

燈絲

 

Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

 

若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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