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hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 制作DNA芯片模板
hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 制作DNA芯片模板 價(jià)格:2000000  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2020-12-16 17:24:06 瀏覽量:158
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類(lèi)型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

華中某實(shí)驗(yàn)室采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE制作面陣石英 DNA芯片模板.

 

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 技術(shù)參數(shù):

基板尺寸

< Ф8 X 1wfr

樣品臺(tái)

直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

離子源

16cm 考夫曼離子源

均勻性

±5% for 4”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100

v:shapes="_x0000_i1025">

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

 

伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術(shù)參數(shù):

 離子源型號(hào)

 離子源 KDC 160 

Discharge

DC 熱離子

離子束流

>650 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

16 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

2-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

燈絲

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

 

采用 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 制作的芯片模板較其他手段制作的同類(lèi)器件而言其表面微結(jié)構(gòu)形貌上的特點(diǎn)更有利于DNA序列樣本與芯片模板的吸附耦合.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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