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hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE 刻蝕濾波器鉭酸鋰晶片
hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE 刻蝕濾波器鉭酸鋰晶片 價格:2000000  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2020-12-14 15:36:33 瀏覽量:127
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

安徽某晶體廠商采用 hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 刻蝕濾波器鉭酸鋰晶片采用間歇式離子束刻蝕方法,解決了刻蝕區(qū)微裂紋工藝問題使厚度為60μm鉭酸鋰晶片減薄至30μm.

 

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 技術(shù)參數(shù):

 

Φ4 inch X 12

基片尺寸

Φ4 inch X 12

Φ5 inch X 10

Φ6 inch X 8

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

LFN 2000

 

晶體濾波器的用途越來越廣泛, 尤其在通信機(jī)和雷達(dá)設(shè)備中, 都需要高頻率、大帶寬的晶體濾波器目前,晶體濾波器使用的主要材料是石英晶體, 由于其具有高品質(zhì)因數(shù)(Q)值、良好的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性, 在精度要求很高的窄帶濾波器中具有很大的優(yōu)越性.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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