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Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于光學(xué)器件精密加工
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  用于光學(xué)器件精密加工 價格:2000000  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2020-12-04 16:16:31 瀏覽量:128
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機:15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  用于光學(xué)器件精密加工


某光學(xué)器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應(yīng)用于光學(xué)器件精密加工通過蝕刻工藝提高光學(xué)器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術(shù)參數(shù)

Φ4 inch X 12

基片尺寸

Φ4 inch X 12

Φ5 inch X 10

Φ6 inch X 8

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

 

Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

LFN 2000

 

采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  可以使 PVRMS分別為1.347μm340nm的粗糙表面, 通過蝕刻其粗糙度可降低至75nm13nm; PV、RMS分別為61nm8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm1nm. 刻蝕工藝能有效提高光學(xué)器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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