| Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 應(yīng)用于集成電路制造中刻蝕 |
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價格：2000000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：日本 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2020-11-30 16:02:31 | 瀏覽量：122 | |
伯東企業(yè)(上海)有限公司
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| 經(jīng)營模式：代理商 | 公司類型：外商獨(dú)資 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶： | |
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| 聯(lián)系人:羅 (先生) | 手機(jī):15201951076 |
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| 郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn | 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206 |
某高端半導(dǎo)體制造公司, 采用Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100運(yùn)用在集成電路制造的刻蝕工藝.
Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)參數(shù):
Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢： 1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量 2. 盒式房間采用高效微粒過濾器 3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率 4. 占用空間小 5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機(jī)器人 6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上 7. 高冷卻效果 8. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動機(jī) 9. 容易維護(hù)這個系統(tǒng)設(shè)計(jì)重點(diǎn)是容易維護(hù)和用戶友好 10. 關(guān)鍵部件服務(wù)伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應(yīng)時間和本地服務(wù)能力,減少停機(jī)時間的工具
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