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Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL3100 用于刻蝕薄膜磁盤(pán)
Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL3100 用于刻蝕薄膜磁盤(pán) 價(jià)格:11  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2020-11-25 15:40:01 瀏覽量:157
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

某薄膜磁盤(pán)制造采用Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL3100 用于刻蝕薄膜磁盤(pán)去除濺射鍍制磁盤(pán)薄膜的污染物和提高薄膜的均勻性.

Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)參數(shù):

Model

MEL3100

 

Main body

Wafer size

3"6"

 

Power
Supply

AC200V 3ph 40A

Wafer per batch

1 wafer

 

*two lines

Cassette

No.

25 wafers

 

Cooling
Water

15 (l/min)

Q'ty

1pc.

 

<20

Throughput

10 (wafer/hr) *1

 

CDA

0.5 (MPa)

Pressure

Ultimate

8×10-5 (Pa) *2

 

>10 (l/min)

Process

2×10-2 (Pa) *2

N2

0.2 (MPa)

Etching

Rate

>10 (nm/min)@SiO2 *3

>40 (l/min)

Uniformity

±5%@132mm (6") *3

Ar

0.2 (MPa)

Wafer surface temp.

<100 *3

20 (sccm)

Stage rotating

120 (rpm) ±5%

He

0.2 (MPa)

Stage tilting

±90°±0.5°

 

20 (sccm)

Dimension
W×D×H (mm)

Main body

1,600×2,175×1,900

 

*need additional utilities
  for Dry pump

Controller

640×610×1,900

 

Chiller

555×515×1,025

 

 

 

Weight (kg)

Main body

1,700

 

 

 

Controller

200

 

 

 

Chiller

100

 

 

 

*1: Estimated process time 5min

 

 

 

*2: No wafer on stege / process chamber

 

 

 

*3: Depending on process

     

 

Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1. 所有流程全自動(dòng)減少人工操作從而保證了產(chǎn)品的無(wú)差錯(cuò)、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量

2. 盒式房間采用高效微粒過(guò)濾器

3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源保證良好的均勻性和高蝕刻率

4. 占用空間小

5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機(jī)器人

6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過(guò)觸摸屏/ 10.4英寸數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

7. 高冷卻效果

8. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動(dòng)機(jī)

9. 容易維護(hù)這個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)重點(diǎn)是容易維護(hù)和用戶友好

10. 關(guān)鍵部件服務(wù)伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應(yīng)時(shí)間和本地服務(wù)能力,減少停機(jī)時(shí)間的工具

 

 Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL3100的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP 380

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號(hào)

RFICP 380

Discharge 陽(yáng)極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 

運(yùn)行結(jié)果:

1. 有效去除濺射沉積時(shí)帶來(lái)的污染物

2. 提高了薄膜磁盤(pán)的均勻度

3. 獲得具有高矯頑力、高剩磁、高穩(wěn)定性的連續(xù)薄膜型的記錄介質(zhì)

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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