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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 用于提升碳化硅微光學(xué)元件的品質(zhì)
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 用于提升碳化硅微光學(xué)元件的品質(zhì) 價(jià)格:2000000  元(人民幣) 產(chǎn)地:日本
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時(shí)間:2020-11-23 15:49:12 瀏覽量:181
伯東企業(yè)(上海)有限公司  
經(jīng)營模式:代理商 公司類型:外商獨(dú)資
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: (先生) 手機(jī):15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細(xì)介紹

某光學(xué)元件制造商為了優(yōu)化碳化硅微光學(xué)元件降低碳化硅微光學(xué)元件表面粗糙度采用 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 對其進(jìn)行優(yōu)化.

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE技術(shù)參數(shù):

基板尺寸

< Ф8 X 1wfr

樣品臺

直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

離子源

16cm
考夫曼離子源

均勻性

±5% for 4”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100

 

該制造商采用的 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù):

 離子源型號

 離子源 KDC 160 

Discharge

DC 熱離子

離子束流

>650 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

16 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

2-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

25.2 cm

直徑

23.2 cm

中和器

燈絲

可選可調(diào)角度的支架

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 配的是 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持刻蝕室的真空度.

其產(chǎn)品優(yōu)勢:

1.結(jié)構(gòu)緊湊但功能強(qiáng)大的渦輪泵,用于 N2 時(shí)的最高抽速可達(dá) 685 l/s

2.最佳真空性能,最低功耗

3.集成的帶 Profibus 的驅(qū)動(dòng)電子裝置 TC 400

4.可在任何方向安裝

5.帶有集成型水冷系統(tǒng)以保證最大氣體流量

6.通過 M12 插接頭的 Profibus 連接

7.廣泛的配件擴(kuò)展使用范圍

 

運(yùn)行結(jié)果:

1. 經(jīng)過 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 碳化硅微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行刻蝕, 以調(diào)控結(jié)構(gòu)的線寬和深度, 使結(jié)構(gòu)表面粗糙度由約106nm降低到11.8nm.

2. 碳化硅菲涅爾波帶片展現(xiàn)出良好的聚焦和成像效果.

 

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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