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全氟醚橡膠密封件行業(yè)概況和發(fā)展

（1）全氟醚橡膠密封件的分類

作為一種特殊的彈性體，全氟醚橡膠因具有優(yōu)異的物理機(jī)械性能以及耐高溫、耐介質(zhì)、耐等離子體和超潔凈等突出性能，在密封材料領(lǐng)域有極大發(fā)展?jié)摿�。由于技術(shù)壁壘高、價格昂貴，全氟醚橡膠主要被用于制成全氟醚橡膠密封件，以滿足不同應(yīng)用工況下的密封需求。

根據(jù)不同的產(chǎn)品形態(tài)和結(jié)構(gòu)設(shè)計，全氟醚橡膠密封件主要包括全氟醚橡膠密封圈、全氟醚橡膠功能部件、墊圈、隔膜等，其能在苛刻條件下保持良好密封性，有效提高設(shè)備使用壽命。作為全氟醚橡膠密封件的重要產(chǎn)品類型之一，全氟醚橡膠密封圈通常呈環(huán)形結(jié)構(gòu)，常見的截面形狀有 O 型（即圓形）、矩形、U 形、V 形等，其中 O 型密封圈是全氟醚橡膠密封圈中常見的密封圈。

全氟醚橡膠密封圈通常安裝在各類設(shè)備的靜態(tài)或動態(tài)接口處防止氣體或液體泄漏從而形成密封環(huán)境，憑借其優(yōu)異的物理機(jī)械性能以及耐高低溫、耐介質(zhì)、耐等離子體、超潔凈等突出性能，可在苛刻的工作環(huán)境中保障設(shè)備的安全穩(wěn)定運(yùn)行。

（2）全氟醚橡膠密封圈下游應(yīng)用情況

①半導(dǎo)體是全氟醚橡膠密封圈下游應(yīng)用市場

全氟醚橡膠密封圈廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏、航空航天、石油化工、醫(yī)療等嚴(yán)苛工況環(huán)境中，其中半導(dǎo)體制造領(lǐng)域是全氟醚橡膠游應(yīng)用市場。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2024 年度中國全氟醚橡膠密封圈市場規(guī)模為70.10 億元，其中應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的市場規(guī)模為 56.80 億元、占比 81.00%。

隨著行業(yè)應(yīng)用的不斷增長，半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈市場規(guī)模占比將由 2024 年度 81.00%增長至 2029 年度 90.20%，成為全氟醚橡膠密封圈市場的最重要組成部分。

②半導(dǎo)體對全氟醚橡膠密封圈的綜合性能要求

由于晶圓制造過程中停產(chǎn)更換密封圈的代價很高，因此半導(dǎo)體制造工藝環(huán)節(jié)對密封件的可靠性、綜合性能以及真空密封標(biāo)準(zhǔn)等要求嚴(yán)苛和全面，全氟醚橡膠作為高性能密封材料，憑借其優(yōu)異性能被深入應(yīng)用到半導(dǎo)體核心制造體系中，成為半導(dǎo)體晶圓制造密封材料和重要耗材之一。

半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈不僅需具備相較于液晶面板、光伏、航空航天、石油化工、醫(yī)療等領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)要求更高的良好物理機(jī)械性能、耐高溫性能、耐介質(zhì)性能，還需兼具耐等離子體、超潔凈等多維度綜合性能，以滿足半導(dǎo)體制造的高精尖要求。

具體而言，半導(dǎo)體制造一方面需面對高能態(tài)和高度活躍的等離子體、強(qiáng)腐蝕性特種氣液體、高低溫等惡劣工況的長時間共同作用和綜合影響，另一方面需在長期承受上述惡劣環(huán)境影響的同時保持潔凈度和真空度、極低的質(zhì)量損失率，以避免任何微小污染導(dǎo)致的晶圓

穩(wěn)定的物理機(jī)械性能：

全氟醚橡膠密封圈擁有優(yōu)異的物理機(jī)械性能，包括具有較好的硬度、拉伸強(qiáng)度、斷裂伸長率、壓縮形變、彈性等性能，能夠承受較大的機(jī)械應(yīng)力和沖擊，即使在高速、高壓力的工作環(huán)境下，也能保持較長的使用壽命

耐高溫性能：

全氟醚橡膠密封圈相對于其他橡膠密封圈，其分子結(jié)構(gòu)中不含有碳?xì)滏I，極大提升耐高溫性能，能承受 300℃以上高溫，遠(yuǎn)高于其他氟橡膠密封圈能承受的 230℃

耐介質(zhì)性能及耐等離子體性能：由于全氟醚橡膠主鏈上碳-碳鍵基本被外圍的氟原子所保護(hù)，使得全氟醚橡膠密封圈具備耐介質(zhì)性，可耐 1,600 多種化學(xué)溶劑的腐蝕，包括能承受液體（酸類、堿類、氨類，氧化劑、清洗劑、蝕刻液等）、氣體（四氟化碳等蝕刻用氣體、氮氧化物、臭氧等氧化性/腐蝕性氣體和高溫水蒸氣等）、等離子體和射線（紅外線和紫外線的照射等）等侵蝕，而其他氟橡膠密封圈在復(fù)雜工況中會與化學(xué)介質(zhì)相互劇烈作用，加速侵蝕并過早失效

超潔凈性能：

耐溫性、耐介質(zhì)性系考量工作環(huán)境對密封圈性能的影響，而潔凈性系考量密封圈對工作環(huán)境造成的影響。潔凈性要求從源頭盡可能減少潛在污染，從而避免污染物對關(guān)鍵工藝造成嚴(yán)重不良影響。

相對于半導(dǎo)體行業(yè)，其他行業(yè)對全氟醚橡膠密封圈的性能要求相對較低，具體情況如下：

液晶面板：

涉及蝕刻、清洗等類似半導(dǎo)體的工藝環(huán)境，有酸堿等化學(xué)試劑、高溫以及等離子體環(huán)境。

①耐化學(xué)性：能抵御光刻、蝕刻等工藝中使用的酸堿等化學(xué)試劑的腐蝕。

②耐高溫性：可承受鍍膜等工藝中的高溫環(huán)境，通常需耐受 150℃-250℃的溫度。

③高潔凈度：防止材料析出物污染面板，影響顯示效果。

④密封性：在真空或特定氣體環(huán)境下保證鍍膜等工藝腔的密封性，確保工藝穩(wěn)定。