| 全自動和半自動GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:深圳 |
| 最少起訂量:1個 | 發(fā)貨地:深圳 | |
| 上架時間:2025-09-29 22:51:26 | 瀏覽量:24 | |
深圳捷微洛克科技有限公司
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| 經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 | 公司類型:集體企業(yè) | |
| 所屬行業(yè):閥門 | 主要客戶:全國 | |
在線咨詢 ![]() |
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| 聯(lián)系人:段總 (先生) | 手機:13380377051 |
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公司名:深圳捷微洛克科技有限公司 地址:深圳市寶安區(qū)松崗街沙浦社區(qū)廣進路24號 聯(lián)系人:段總 手機號:13380377051 郵箱:info@jewellok.com
網(wǎng)址:https://www.jewellok.cn 全自動和半自動GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜 技術(shù)參數(shù)
可選 特氣柜是一種用于供應(yīng)和管理特種氣體的設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體、LED等新興產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險性的氣體,如硅烷(SiH4)等。 在CVD(化學(xué)氣相沉積)等生產(chǎn)過程中,特氣柜發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠滿足生產(chǎn)過程中對氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求,確保生產(chǎn)正常進行和員工人身安全。特氣柜內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,使得氣體在傳送過程中經(jīng)過多次自動吹掃,避免被氣體雜質(zhì)污染,保證氣體原材料的純度。 此外,特氣柜還具有報警偵測警報功能,在緊急情況下會自動安全切斷,保障生產(chǎn)安全和人員安全。全自動特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm,有防腐蝕涂層,柜門關(guān)閉時,氣瓶柜內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài),柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H,從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運行。
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