| Impedans射頻異常打火檢測器Alfven 100 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：愛爾蘭 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：上海 | |
| 上架時間：2025-09-25 11:23:10 | 瀏覽量：10 | |
上海歐橋電子科技發(fā)展有限公司
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Impedans射頻異常打火檢測器Alfven 100 品牌：Impedans 型號：Alfven 100 精確的射頻等離子體異常打火檢測和全面的射頻脈沖監(jiān)控  公司介紹： Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域，包括半導體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。 Impedans的技術優(yōu)勢在于其先進的測量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質量的傳感器和測量設備，Impedans在多個工業(yè)領域中贏得了良好的聲譽。  產品介紹： Alfven 100是一款先進的、集射頻等離子異常打火檢測和射頻脈沖監(jiān)控為一體的診斷儀器，它能夠以1微秒的分辨率實時處理射頻信號。 該儀器被設計用來檢測和表征射頻等離子體異常打火現(xiàn)象，同時可監(jiān)測每一個射頻脈沖信號，以檢查是否每個脈沖信號都符合設定值。 等離子體異常打火和失效脈沖可能導致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和7×24小時監(jiān)控的必要工具。 主要功能： 1μs采樣分辨率，同時監(jiān)測異常打火和脈沖信號(可調噪聲過濾)。 可配置異常打火類型和失效脈沖信號類型。 監(jiān)控每個脈沖的有效時間、脈沖頻率和占空比。 報告用戶設置的偏離限制的具體值。 “開關”和“高低”脈沖監(jiān)控（可多達三級）。 監(jiān)控脈沖期間可報告最大、最小和平均電壓電流值。 “快照”功能查看在給定時間內的脈沖輪廓。 可設置配方，命令儀器自動調整設置，以同步監(jiān)測復雜多步的等離子體過程。 主要優(yōu)勢和應用： 可快速確定是否由打火或失效脈沖導致的晶圓缺陷的原因。 脈沖“快照”功能可替代定向耦合器-示波器。 監(jiān)控每個工藝步驟配方的平均脈沖頻率和占空比。 實時監(jiān)控每個工藝步驟的異常打火次數(shù)。 按要求進行微妙數(shù)據(jù)的實時報告。 軟件通訊中斷時儀器主板可暫時儲存數(shù)據(jù)。 可生成摘要報告，方便后續(xù)查看。    |
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