PFA氣體沖擊瓶空氣質(zhì)量檢測(cè) |
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PFA氣體沖擊瓶因其高純度、耐腐蝕和耐高溫特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的氣體采樣和分析。 PFA氣體沖擊瓶的特點(diǎn) 化學(xué)惰性:PFA材料對(duì)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和有機(jī)溶劑具有極強(qiáng)抵抗力,適合高純度氣體采樣。 低吸附性:可減少氣體分子在瓶壁的吸附,確保采樣數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。 耐溫范圍廣:通?沙惺-200°C至260°C的溫度,適用于極端環(huán)境。 透明性:便于觀察瓶?jī)?nèi)氣體狀態(tài)或液體樣品。 半導(dǎo)體行業(yè)的具體用途 工藝氣體監(jiān)測(cè):用于采集蝕刻、沉積等工藝中的特種氣體(如NF?、SF?)。 潔凈室空氣分析:檢測(cè)超凈環(huán)境中的微量污染物(如VOCs、顆粒物)。 尾氣處理驗(yàn)證:評(píng)估廢氣處理系統(tǒng)的效率,確保符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。 選型與使用注意事項(xiàng) 容量選擇:常見規(guī)格為250mL至1L,需根據(jù)采樣流量和時(shí)長(zhǎng)確定。 密封性測(cè)試:使用前需進(jìn)行氦檢漏等測(cè)試,避免氣體泄漏。 清潔方法:建議用高純氮?dú)獯祾呋蛩嵯矗ㄈ?0%硝酸浸泡),避免交叉污染。
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