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半導(dǎo)體芯片退火模溫機(jī)
半導(dǎo)體芯片退火模溫機(jī) 價(jià)格:28600  元(人民幣) 產(chǎn)地:江蘇昆山市
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國
上架時(shí)間:2025-08-20 14:53:04 瀏覽量:30
邁浦特機(jī)械(四川)有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:
所屬行業(yè):制冷設(shè)備 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:趙元圓(邁浦特機(jī)械) (小姐) 手機(jī):18108129082
電話: 傳真:
郵箱:zhaoyuanyuan@maipt.ltd 地址:中國(四川)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都高新區(qū)天府大道北段1700號(hào)N3區(qū)21樓2125邁浦特機(jī)械

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體芯片退火模溫機(jī)

郵:zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非標(biāo)定制,免費(fèi)提供技術(shù)規(guī)格書、方案。
聯(lián)系:①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特點(diǎn)

專為半導(dǎo)體芯片退火工藝設(shè)計(jì),控溫范圍覆蓋 45℃~180℃(其他溫度可定制),可精準(zhǔn)匹配芯片退火過程中升溫、恒溫、降溫各階段的溫度需求。通過穩(wěn)定控制退火爐模具溫度,確保芯片在高溫下實(shí)現(xiàn)晶格重組與應(yīng)力釋放,避免因溫度不均導(dǎo)致的芯片開裂、電學(xué)性能異常等缺陷,提升芯片良率與可靠性,適配硅基芯片、化合物半導(dǎo)體等的退火處理場景。

核心優(yōu)勢

高精度溫控保障退火質(zhì)量

采用邁浦特定制 PLC 控制系統(tǒng),9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)段控溫,基礎(chǔ)精度達(dá) ±1℃(±0.1℃可選),支持進(jìn)出口溫度相互切換控制?筛鶕(jù)退火工藝要求調(diào)節(jié)控溫速率(斜率 / 快速),精準(zhǔn)控制升溫速率(如 5℃/min~20℃/min)與恒溫時(shí)長,確保芯片在 100℃~150℃關(guān)鍵退火區(qū)間的溫度穩(wěn)定性。

高效加熱與循環(huán)能力

加熱功率 6~720kW 可調(diào),采用直接加熱方式,搭配邁浦特定制耐溫油泵(耐溫 - 40℃~320℃),流量 6.5~250m?/h,揚(yáng)程 28~100m,確保導(dǎo)熱油在高溫下循環(huán)高效,快速響應(yīng)退火爐的瞬時(shí)溫度需求。全系統(tǒng)管路采用無縫氬弧焊接工藝,減少熱量損耗與泄漏風(fēng)險(xiǎn),滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)潔凈要求。

多重安全防護(hù)與智能操作

配備溫度異常自動(dòng)斷電、泵浦超載保護(hù)、缺油報(bào)警、管路阻塞泄壓等 10 重安全裝置,高溫球閥耐溫達(dá) 230℃,通過 BY-PASS 泄壓回路保護(hù)泵浦。支持 100 組可編程工藝程序,7 寸觸摸屏實(shí)時(shí)顯示溫度曲線,數(shù)據(jù)可通過 USB 導(dǎo)出,便于追溯退火工藝參數(shù)。進(jìn)出管徑可根據(jù)退火爐接口定制,適配不同生產(chǎn)規(guī)模需求。

技術(shù)參數(shù)(典型機(jī)型)

名稱 參數(shù)
控溫范圍     45℃~180℃
控溫精度     PID ±1℃(±0.1℃可選)
加熱功率     6~720kW
循環(huán)介質(zhì)     導(dǎo)熱油
通訊方式     Modbus RS485(可定制其他協(xié)議)
電源     3N-380V-50Hz(可定制)

適配場景

適用于半導(dǎo)體芯片的快速熱退火(RTA)、爐管退火等工藝,可通過預(yù)設(shè)不同芯片材質(zhì)的退火溫度曲線(如硅片退火、氮化鎵芯片退火),提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品一致性。設(shè)備膨脹箱容量 25L~5000L 可選,支持遠(yuǎn)程控制、流量監(jiān)測等特殊功能擴(kuò)展,且享有 1 年免費(fèi)保修服務(wù),為半導(dǎo)體芯片退火工藝提供專業(yè)溫控支持。

半導(dǎo)體芯片退火模溫機(jī)技術(shù)規(guī)格書示例


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