UXG/LG方型真空門閥，北澤閥門、開滋閥門，KITZ SCT?
UXG / LG方型真空門閥
“UXG，LG”系列是為隔開半導(dǎo)體真空裝置的反應(yīng)爐與傳遞室而開發(fā)的方型門閥。閥體為鋁制，使用復(fù)動(dòng)式空氣執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)。帶加熱器規(guī)格閥門的特 點(diǎn)是可以從外部和內(nèi)部雙向進(jìn)行加熱，均熱性能高，除了使用固定閥體內(nèi)置
的外部加熱器進(jìn)行加熱外，可以活動(dòng)的閥體內(nèi)部也設(shè)有加熱器。閥身和閥體可以設(shè)定為 180℃以下的任意溫度。
主要特點(diǎn)：
1.可以高溫加熱，減少積臟和密封圈黏著，大幅延長(zhǎng)維修周期。
2.閥身加熱器和閥體加熱器的通道彼此獨(dú)立，可以分別設(shè)定內(nèi)部和外部溫度。
3.具有在開閉閥門時(shí)不易產(chǎn)生顆粒的無摩擦結(jié)構(gòu)。
4.備有在發(fā)生驅(qū)動(dòng)用空氣斷開等緊急情況時(shí)保持閥門關(guān)閉的閂鎖機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)流體溫度以及對(duì)流體的適用性，閘門的 O 型圈材質(zhì)備有氟橡膠、KALREZ? *1、Chemraz? *2 等。
北京信源天恒科技有限公司代理日本本多（HONDA）及開滋/北澤（KITZ
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