| 磁力真空退火爐 磁場(chǎng)真空合金爐 |
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價(jià)格：888 元(人民幣) | 產(chǎn)地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：山東青島市 | |
| 上架時(shí)間：2025-05-08 15:24:38 | 瀏覽量：86 | |
青島晨立電子有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式： | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶： | |
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用途： 該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝過程中，在可控磁場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有精確的磁場(chǎng)強(qiáng)度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。 主要技術(shù)參數(shù)： ◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型 ◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。 ◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：±0.5℃/800mm ◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S ◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s ◆工藝均勻性:≤±5％ ◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制 ◆真空度： 5*10-4 Pa ◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
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