| 適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵 |
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價(jià)格:6700 元(人民幣) | 產(chǎn)地:廣東東莞市 |
| 最少起訂量:1臺(tái) | 發(fā)貨地:廣東東莞市 | |
| 上架時(shí)間:2025-04-11 10:21:16 | 瀏覽量:83 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經(jīng)營模式:經(jīng)銷商 | 公司類型:私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè):真空泵 | 主要客戶:全國 | |
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適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵
應(yīng)用場景 - MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)前級抽氣: 為分子泵或渦輪泵提供前級真空(10??~10?? Pa),快速建立反應(yīng)腔基礎(chǔ)真空環(huán)境,確保GaN、AlGaN等外延層的高質(zhì)量生長。 - LED封裝真空除泡: 在環(huán)氧樹脂/硅膠封裝工藝中,抽除氣泡(殘氧量<0.5%),提升透光率與器件可靠性。 - 電極金屬化工藝: 輔助電子束蒸發(fā)或?yàn)R射鍍膜設(shè)備,維持低真空環(huán)境(10??~10?? Pa),確保金屬電極(如Al、Ag)均勻附著。 技術(shù)適配優(yōu)勢
與干式泵的對比及適用性
- 案例1:Mini LED封裝真空除泡** - 痛點(diǎn):傳統(tǒng)泵殘氧量高(>1%),導(dǎo)致封裝層氣泡缺陷率8%。 -方案:愛發(fā)科 **VDN-200油泵+油霧過濾模塊。 - 成果:殘氧量 0.3%,氣泡缺陷率降至 0.5%,年節(jié)省返工成本 50萬元。 - 案例2:藍(lán)寶石襯底清洗干燥 - 痛點(diǎn):清洗后表面水氧殘留導(dǎo)致外延缺陷。 - 方案:真空干燥系統(tǒng)搭載 G-150D油泵(極限真空5×10?? Pa)。 - 成果:干燥時(shí)間縮短 40%,襯底表面潔凈度達(dá) Sa≤0.2nm。 注意事項(xiàng) - 油蒸氣管理**: 高精度外延生長環(huán)節(jié)需加裝低溫冷阱+活性炭吸附器,避免烴類污染。 -工藝氣體兼容性: 處理腐蝕性氣體(如Cl?)時(shí),需選配 耐腐蝕涂層泵體。 - 定期維護(hù): 每2000小時(shí)更換專用真空泵油(推薦ULVAC原廠ISO VG 100),防止油品劣化。 未來技術(shù)延伸 - 智能變頻控制: 根據(jù)MOCVD工藝氣體流量動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)抽速,能耗再降 15%。 - 物聯(lián)網(wǎng)預(yù)警系統(tǒng): 實(shí)時(shí)監(jiān)測油品狀態(tài)與泵體振動(dòng),故障率減少 50%。 愛發(fā)科油式旋片真空泵以 高性價(jià)比、快速響應(yīng)與靈活適配,成為LED制造中前級抽氣、封裝除泡等環(huán)節(jié)的可靠選擇。通過 油污染控制技術(shù)升級,其在非核心敏感工藝中可替代部分干式泵,顯著降低綜合成本,助力LED企業(yè)提升競爭力。 適用推薦:中小型LED廠、封裝代工廠、輔材加工線;慎用場景:高精度MOCVD外延生長主泵級真空需求。
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