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適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵
適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵 價(jià)格:6700  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東東莞市
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:廣東東莞市
上架時(shí)間:2025-04-11 10:21:16 瀏覽量:83
東莞市飛粵真空科技有限公司  
經(jīng)營模式:經(jīng)銷商 公司類型:私營有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):真空泵 主要客戶:全國
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:朱先生 (先生) 手機(jī):15079723172
電話: 傳真:
郵箱:feiyuezk3@163.com 地址:東莞市寮步鎮(zhèn)向西村振南四巷9號1樓

詳細(xì)介紹

適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵

 應(yīng)用場景  
- MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)前級抽氣:  
  為分子泵或渦輪泵提供前級真空(10??~10?? Pa),快速建立反應(yīng)腔基礎(chǔ)真空環(huán)境,確保GaN、AlGaN等外延層的高質(zhì)量生長。  
- LED封裝真空除泡:  
  在環(huán)氧樹脂/硅膠封裝工藝中,抽除氣泡(殘氧量<0.5%),提升透光率與器件可靠性。  
- 電極金屬化工藝:  
  輔助電子束蒸發(fā)或?yàn)R射鍍膜設(shè)備,維持低真空環(huán)境(10??~10?? Pa),確保金屬電極(如Al、Ag)均勻附著。  

 技術(shù)適配優(yōu)勢 

維度
技術(shù)表現(xiàn)
行業(yè)價(jià)值
快速抽氣能力
抽速200~1000 L/min,5分鐘內(nèi)達(dá)10?? Pa  
 縮短MOCVD設(shè)備啟動(dòng)時(shí)間,產(chǎn)能提升15%~20% 
成本效益
采購與維護(hù)成本為干式泵的 1/3~1/2  
中小型LED廠降本增效
耐腐蝕設(shè)計(jì)
不銹鋼泵體+氟橡膠密封,耐受NH?、TMGa等氣體
 延長MOCVD工藝中泵體壽命至 3萬小時(shí)
油污染控制
配置分子篩吸附器+低溫冷阱,油蒸氣<0.01 ppm
滿足LED外延層潔凈度要求(Class 1000)


與干式泵的對比及適用性  

指標(biāo) 
 油式旋片泵 
干式泵 
極限真空
10?? Pa(前級適用)     
10??~10?? Pa(主泵級) 
潔凈度 
需過濾系統(tǒng),適合非核心制程   
 無油污染,適合外延生長等敏感環(huán)節(jié) 
維護(hù)成本 
年維護(hù)費(fèi)約$800(含換油與濾芯)
年維護(hù)費(fèi)約 $3000(螺桿磨損更換) 
適用環(huán)節(jié)
前級抽氣、封裝除泡、電極金屬化 
 MOCVD主泵、高精度鍍膜     


 典型案例 
- 案例1:Mini LED封裝真空除泡**  
  - 痛點(diǎn):傳統(tǒng)泵殘氧量高(>1%),導(dǎo)致封裝層氣泡缺陷率8%。  
  -方案:愛發(fā)科 **VDN-200油泵+油霧過濾模塊。  
  - 成果:殘氧量 0.3%,氣泡缺陷率降至 0.5%,年節(jié)省返工成本 50萬元。  

- 案例2:藍(lán)寶石襯底清洗干燥  
  - 痛點(diǎn):清洗后表面水氧殘留導(dǎo)致外延缺陷。  
  - 方案:真空干燥系統(tǒng)搭載 G-150D油泵(極限真空5×10?? Pa)。  
  - 成果:干燥時(shí)間縮短 40%,襯底表面潔凈度達(dá) Sa≤0.2nm。  

 注意事項(xiàng)  
- 油蒸氣管理**:  
  高精度外延生長環(huán)節(jié)需加裝低溫冷阱+活性炭吸附器,避免烴類污染。  
-工藝氣體兼容性:  
  處理腐蝕性氣體(如Cl?)時(shí),需選配 耐腐蝕涂層泵體。  
- 定期維護(hù):  
  每2000小時(shí)更換專用真空泵油(推薦ULVAC原廠ISO VG 100),防止油品劣化。  

 未來技術(shù)延伸  
- 智能變頻控制:  
  根據(jù)MOCVD工藝氣體流量動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)抽速,能耗再降 15%。  
- 物聯(lián)網(wǎng)預(yù)警系統(tǒng):  
  實(shí)時(shí)監(jiān)測油品狀態(tài)與泵體振動(dòng),故障率減少 50%。  

愛發(fā)科油式旋片真空泵以 高性價(jià)比、快速響應(yīng)與靈活適配,成為LED制造中前級抽氣、封裝除泡等環(huán)節(jié)的可靠選擇。通過 油污染控制技術(shù)升級,其在非核心敏感工藝中可替代部分干式泵,顯著降低綜合成本,助力LED企業(yè)提升競爭力。  

適用推薦:中小型LED廠、封裝代工廠、輔材加工線;慎用場景:高精度MOCVD外延生長主泵級真空需求。

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