| 普旭油式真空泵：半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的穩(wěn)定真空保障，潔凈度＞99.99% |
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價格：16999 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時間：2025-04-08 11:05:13 | 瀏覽量：8 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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普旭油式真空泵：半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的穩(wěn)定真空保障，潔凈度＞99.99%
應(yīng)用場景：半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的嚴(yán)苛要求 半導(dǎo)體薄膜沉積（如化學(xué)氣相沉積CVD、物理氣相沉積PVD）是制造芯片核心功能層的核心工藝。在納米級薄膜生長過程中，真空系統(tǒng)的潔凈度與壓力穩(wěn)定性直接決定薄膜的均勻性、致密性及電學(xué)性能。 - 典型問題： - 油蒸氣污染：傳統(tǒng)油式真空泵的潤滑油蒸氣反滲至腔室，導(dǎo)致薄膜表面出現(xiàn)針孔、雜質(zhì)吸附，良率下降5%~10%。 - 壓力波動：真空度不穩(wěn)定（波動＞±1%）引發(fā)膜厚不均，影響3D NAND存儲堆疊層或邏輯芯片柵極氧化層的可靠性。 - 維護(hù)成本高：頻繁清潔被污染的腔室和泵體，單臺設(shè)備年維護(hù)成本超￥20萬元。 普旭油式真空泵針對以上痛點，為CVD、PVD、ALD（原子層沉積）等工藝提供高潔凈、超穩(wěn)定的真空環(huán)境，成為7nm以下先進(jìn)制程的優(yōu)選解決方案。 產(chǎn)品特點：技術(shù)革新實現(xiàn)潔凈與穩(wěn)定雙突破 1. 多層油霧過濾系統(tǒng) - 三級凈化設(shè)計： - 機(jī)械離心分離：去除90%以上大顆粒油霧。 - 靜電吸附模塊：捕捉0.1μm級懸浮油滴，效率達(dá)99.5%。 - HEPA級終端過濾：殘留油蒸氣＜0.01mg/m?，潔凈度＞99.99%，符合SEMI F21標(biāo)準(zhǔn)。 - 自清潔功能：濾芯堵塞自動報警，支持在線更換，維護(hù)耗時＜30分鐘。 2. 恒壓精密控制技術(shù) - 閉環(huán)壓力反饋系統(tǒng)：實時監(jiān)測腔室壓力（精度±0.1mbar），通過變頻電機(jī)動態(tài)調(diào)節(jié)抽速，壓力波動≤±0.3%。 - 工藝氣體兼容性：適配NH?、SiH?、WF?等腐蝕性氣體，密封材料采用全氟醚橡膠（FFKM），耐腐蝕壽命提升5倍。 3. 節(jié)能長效設(shè)計 - 變頻驅(qū)動（VFD）：待機(jī)功耗降低至額定功率的15%，年省電費超￥8萬元（以10kW泵為例）。 - 長壽命潤滑油：專用高溫合成油（耐溫250℃），換油周期延長至8000小時，維護(hù)成本降低60%。 性能參數(shù)對比
1. 良率提升：某邏輯芯片廠在28nm HKMG工藝中采用普旭泵后，薄膜缺陷率從0.12%降至0.03%，年減少損失￥1500萬。 2. 成本優(yōu)化：熱能回收系統(tǒng)將廢熱用于腔室預(yù)熱，降低外圍加熱能耗18%，單臺泵年省電費￥1.8萬。 3. 生產(chǎn)連續(xù)性：MTBF（平均無故障時間）≥20000小時，支持7×24小時連續(xù)運行，設(shè)備利用率提升25%。 總結(jié)：賦能先進(jìn)制程，定義真空新標(biāo)準(zhǔn) 普旭油式真空泵通過多層油霧過濾技術(shù)與恒壓精密控制系統(tǒng)，徹底解決半導(dǎo)體薄膜沉積工藝中的油污染與壓力波動難題，潔凈度＞99.99%的指標(biāo)達(dá)到行業(yè)頂尖水平。其優(yōu)勢不僅體現(xiàn)在良率提升與成本節(jié)約，更通過適配先進(jìn)制程（如EUV光刻配套薄膜沉積），助力半導(dǎo)體企業(yè)突破5nm、3nm技術(shù)節(jié)點。 隨著第三代半導(dǎo)體（GaN、SiC）與異質(zhì)集成技術(shù)的崛起，普旭真空泵將持續(xù)以少污染、高穩(wěn)定、智能化為核心，成為全球晶圓廠薄膜工藝升級的戰(zhàn)略合作伙伴。
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