【光學(xué)鍍膜真空泵】膜厚均勻性±1nm | 分子泵+干泵機(jī)組 | 支持氦質(zhì)譜檢漏 |
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普旭油式真空泵在光學(xué)鍍膜與廣電機(jī)械行業(yè)的技術(shù)賦能 高潔凈真空環(huán)境 行業(yè)核心需求與挑戰(zhàn) 1. 光學(xué)鍍膜領(lǐng)域 - 需求: ? 極限真空度 ≤5×10?? Pa(磁控濺射/PVD鍍膜) ? 油蒸汽返流率<5×10?? mg/cm?·min(防止膜層污染) - 痛點(diǎn): ? 傳統(tǒng)擴(kuò)散泵存在油污染風(fēng)險(xiǎn) ? 分子泵維護(hù)成本高昂(年均?8-12萬(wàn)) 2. 廣電機(jī)械領(lǐng)域 - 需求: ? 連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性(7×24小時(shí)廣電設(shè)備生產(chǎn)) ? 快速抽氣能力(腔體容積1-5m?需15分鐘內(nèi)達(dá)標(biāo)) - 痛點(diǎn): ? 油霧排放影響潔凈車(chē)間評(píng)級(jí) ? 突發(fā)停機(jī)導(dǎo)致鍍膜良率下降30%+ 普旭RVX系列油式真空泵技術(shù)亮點(diǎn) 1. 超潔凈真空環(huán)境保障 - 五級(jí)油霧捕集系統(tǒng): - 集成機(jī)械離心+低溫冷凝+活性炭吸附技術(shù) - 油蒸汽返流率 <2×10?? mg/cm?·min**(優(yōu)于ISO8573-1 Class 0標(biāo)準(zhǔn)) - 全金屬密封設(shè)計(jì): - 采用氟橡膠+不銹鋼復(fù)合密封圈,漏率<1×10??? Pa·m?/s 2. 精密工藝適配性 - 智能真空梯度控制: - 配備PID調(diào)節(jié)閥,真空度波動(dòng)范圍±0.5%(常規(guī)系統(tǒng)±3%) - 多級(jí)抽速切換: - 50-1000m?/h無(wú)級(jí)調(diào)速,適應(yīng)鍍膜不同階段(預(yù)抽/維持/冷卻) 3. 工業(yè)級(jí)可靠性設(shè)計(jì) - 耐腐蝕強(qiáng)化: - 泵體鍍鎳處理+專(zhuān)用抗氧化真空油(酸氣耐受pH2-12) - 智能預(yù)警系統(tǒng): - 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)油溫(精度±1℃)、振動(dòng)(<2.8mm/s)、顆粒物濃度 與競(jìng)品的關(guān)鍵性能對(duì)比
案例1:光學(xué)鏡頭鍍膜生產(chǎn)線升級(jí) - 客戶:華南某光學(xué)器件上市公司 - 方案: - 采用RVX630D+羅茨泵組(三級(jí)串聯(lián)) - 加裝油蒸汽低溫捕集器 - 成效: ? 膜層瑕疵率從0.7%降至 0.12% ? 鍍膜周期縮短 22%(單日產(chǎn)能提升至3800片) ? 潔凈室等級(jí)維持 Class 1000 標(biāo)準(zhǔn) 案例2:廣電真空干燥設(shè)備改造 - 客戶:華東廣電設(shè)備制造商 - 方案: - 替換原有3臺(tái)水環(huán)泵為RVX200D×2(一用一備) - 成效: ? 干燥效率提升 40%(單批次耗時(shí)從4h→2.4h) ? 年度電費(fèi)節(jié)省?17.3萬(wàn) ? 設(shè)備無(wú)故障運(yùn)行突破 12,000小時(shí) 技術(shù)優(yōu)勢(shì) ? 經(jīng)濟(jì)性:綜合成本較分子泵降低60%,回報(bào)周期<14個(gè)月 ? 潔凈度:油蒸汽控制達(dá)半導(dǎo)體級(jí)標(biāo)準(zhǔn),保障鍍膜良率 ? 智能化:支持Modbus/TCP協(xié)議,無(wú)縫接入工業(yè)4.0控制系統(tǒng) ? 可靠性:MTBF(平均無(wú)故障時(shí)間)突破30,000小時(shí) ![]() ![]() ![]() |
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