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高潔凈環(huán)境預(yù)抽真空半導(dǎo)體行業(yè)無油式節(jié)能環(huán)保真空泵供應(yīng)商

普旭（Busch）單級無油式真空泵在半導(dǎo)體行業(yè) 中具有重要應(yīng)用價值，尤其適用于對潔凈度、無油污染和穩(wěn)定真空環(huán)境要求嚴苛的工藝環(huán)節(jié)。與油式泵相比，無油設(shè)計徹底消除了油蒸汽返流污染的風險，符合半導(dǎo)體制造的高標準需求

適用于高潔凈度要求的先進制程（如7nm以下節(jié)點）。

3.工藝氣體處理與回收
抽除刻蝕、沉積工藝中的 非腐蝕性廢氣（如氮氣、氬氣），搭配氣體過濾系統(tǒng)實現(xiàn)無害化處理。
無油設(shè)計避免真空泵與工藝氣體反應(yīng)，延長設(shè)備壽命。
4. 真空干燥與封裝
用于芯片封裝環(huán)節(jié)的真空干燥工藝（如去除環(huán)氧樹脂中的氣泡），確保封裝材料均勻固化。
在3D封裝、MEMS器件制造中，提供穩(wěn)定的低真空環(huán)境。

普旭單級無油式真空泵的優(yōu)勢
1. 零油污染
- 采用干式運行技術(shù)（如爪式、渦旋式或螺桿式設(shè)計），無需潤滑油，徹底杜絕油蒸汽反流污染，符合 ISO 1級潔凈室 要求。
2. 高可靠性
- 結(jié)構(gòu)緊湊，磨損部件少，適合 7×24小時連續(xù)運行，故障率低，維護周期長。
3. 寬泛的真空范圍
- 單級無油泵的極限真空可達 0.1~5 mbar，滿足半導(dǎo)體中低真空環(huán)節(jié)需求（如預(yù)抽、干燥、傳輸）。
4. 低能耗與低噪音
- 優(yōu)化設(shè)計降低能耗（相比油式泵節(jié)能10%~20%），運行噪音通常低于65 dB，適合潔凈室環(huán)境。
5. 兼容腐蝕性氣體

- 部分型號采用耐腐蝕涂層（如特氟龍、陶瓷），可處理 輕度腐蝕性氣體（需根據(jù)工藝定制）。

- 適配腐蝕性氣體過濾系統(tǒng)，用于刻蝕廢氣回收。

與油式泵及干式泵的對比

注意事項與優(yōu)化方案

1. 氣體兼容性檢查
- 若工藝涉及腐蝕性氣體（如Cl?、HF），需選擇特殊涂層或材質(zhì)（如鎳基合金）的無油泵，并加裝 化學(xué)過濾器。
2. 熱管理
- 長時間運行可能導(dǎo)致泵體升溫，需確保散熱系統(tǒng)（如風冷/水冷）適配潔凈室環(huán)境。
3. 振動控制
- 安裝減震底座或軟連接管道，避免振動傳遞至精密設(shè)備（如光刻機）。
4. 系統(tǒng)集成
- 搭配真空傳感器和PLC控制系統(tǒng)，實現(xiàn)真空度實時調(diào)控，提升工藝穩(wěn)定性。

行業(yè)應(yīng)用案例
光刻機預(yù)抽系統(tǒng)：Cobra NC系列無油泵用于ASML光刻機腔體預(yù)抽，5分鐘內(nèi)將壓力降至5 mbar，接力分子泵進入超高真空。
3D NAND封裝：Seco SV系列泵在真空干燥環(huán)節(jié)去除多層堆疊結(jié)構(gòu)的間隙氣體，提高良率。
化合物半導(dǎo)體制造：耐腐蝕無油泵處理GaN刻蝕廢氣，避免油污染導(dǎo)致的晶體缺陷。

普旭單級無油式真空泵憑借其 零污染、高可靠性和低維護成本，成為半導(dǎo)體行業(yè)預(yù)抽、傳輸及干燥環(huán)節(jié)的理想選擇。盡管其極限真空度不及分子泵，但通過與其他高真空泵的協(xié)同工作，能夠顯著提升系統(tǒng)效率并降低污染風險。在先進制程和潔凈室環(huán)境中，無油泵正逐步替代傳統(tǒng)油式泵，成為半導(dǎo)體設(shè)備升級的關(guān)鍵組件。對于更高真空需求的核心工藝（如離子注入），仍需搭配渦輪分子泵或干式螺桿泵完成。東莞市飛粵真空科技有限公司