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ASML 4022.634.17485

	價(jià)格：元(人民幣)	產(chǎn)地：國(guó)外國(guó)外
	最少起訂量：1件	發(fā)貨地：全國(guó)全國(guó)
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	寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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詳細(xì)介紹

ASML 4022.634.17485

：技術(shù)參數(shù)與性能解析

ASML作為全球領(lǐng)先的光刻設(shè)備制造商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹ASML 4022.634.17485這一型號(hào)的光刻設(shè)備參數(shù)，幫助讀者全面了解其技術(shù)特點(diǎn)與性能優(yōu)勢(shì)。

基本信息

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型號(hào)：ASML 4022.634.17485

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類型：浸沒(méi)式光刻機(jī)

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用途：用于先進(jìn)半導(dǎo)體芯片制造，支持7nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)

光源系統(tǒng)

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光源類型：ArF（氟化氬）準(zhǔn)分子激光

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波長(zhǎng)：193nm

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光源功率：≥60W

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激光穩(wěn)定性：優(yōu)于0.5%

ASML 4022.634.17485采用先進(jìn)的ArF準(zhǔn)分子激光作為光源，其193nm的波長(zhǎng)能夠滿足高分辨率光刻需求。光源功率高達(dá)60W以上，確保了設(shè)備的高效運(yùn)行，而激光穩(wěn)定性控制在0.5%以內(nèi)，則保證了光刻過(guò)程中的高精度與一致性。

光學(xué)系統(tǒng)

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物鏡數(shù)值孔徑：1.35

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投影透鏡系統(tǒng)：雙工件臺(tái)系統(tǒng)

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分辨率：≤7nm

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套刻精度：≤1.5nm

該設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)具備高數(shù)值孔徑的物鏡和先進(jìn)的雙工件臺(tái)投影透鏡系統(tǒng)，這不僅提高了光刻分辨率，使其達(dá)到7nm及以下水平，還保證了套刻精度在1.5nm以內(nèi)，從而滿足了先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)對(duì)高精度光刻的嚴(yán)格要求。

工件臺(tái)系統(tǒng)

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工件臺(tái)類型：TWINSCAN平臺(tái)

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移動(dòng)速度：≥500mm/s

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加速度：≥10g

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定位精度：≤0.5nm

ASML 4022.634.17485搭載的TWINSCAN平臺(tái)工件臺(tái)系統(tǒng)，具有高速移動(dòng)和高加速度的特點(diǎn)，移動(dòng)速度可達(dá)500mm/s以上，加速度超過(guò)10g。同時(shí)，其定位精度高達(dá)0.5nm以下，確保了光刻過(guò)程中的高精度定位與曝光。

浸沒(méi)系統(tǒng)

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浸沒(méi)液體：去離子水

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浸沒(méi)液溫度控制：±0.01°C

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浸沒(méi)液厚度控制：±1nm

采用去離子水作為浸沒(méi)液體，通過(guò)精確的溫度和厚度控制，ASML 4022.634.17485的浸沒(méi)系統(tǒng)能夠有效提高光刻分辨率并減少工藝誤差。溫度控制精度在±0.01°C以內(nèi)，厚度控制精度則在±1nm以內(nèi)。

生產(chǎn)能力

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產(chǎn)能：≥200wph（每小時(shí)晶圓數(shù)）

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生產(chǎn)效率：支持多模式生產(chǎn)

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良率：≥95%

該設(shè)備具備較高的生產(chǎn)能力，每小時(shí)可處理200片以上晶圓。支持多模式生產(chǎn)，能夠靈活適應(yīng)不同工藝需求。此外，設(shè)備良率高達(dá)95%以上，為客戶帶來(lái)了顯著的經(jīng)濟(jì)效益。

環(huán)境與安全

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能耗：≤1000kW

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噪音水平：≤85dB(A)

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安全標(biāo)準(zhǔn)：符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)

ASML 4022.634.17485在能耗和噪音控制方面表現(xiàn)出色，能耗不超過(guò)1000kW，噪音水平控制在85dB(A)以下。同時(shí)，設(shè)備符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)，保障了操作人員的安全與健康。

總結(jié)

ASML 4022.634.17485作為一款先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻設(shè)備，憑借其卓越的光源系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、工件臺(tái)系統(tǒng)和浸沒(méi)系統(tǒng)，以及高效的生產(chǎn)能力和良好的環(huán)境與安全性能，為半導(dǎo)體芯片制造提供了強(qiáng)大的技術(shù)支持。其技術(shù)參數(shù)和性能優(yōu)勢(shì)使其成為全球半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一。

聯(lián)系人：吳經(jīng)理手機(jī)：18596688429（微信同號(hào)）郵箱：841825244@qq.com

ASML 4022.634.17485

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光學(xué)系統(tǒng)

工件臺(tái)系統(tǒng)

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