| ASML 4022.455.16632 |
 |
價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：國外國外 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：全國全國 | |
| 上架時(shí)間：2025-02-14 23:09:29 | 瀏覽量：48 | |
寧德潤恒自動化設(shè)備有限公司
 |
||
| 經(jīng)營模式： | 公司類型：私營獨(dú)資企業(yè) | |
| 所屬行業(yè)：綜合 | 主要客戶： | |
 在線咨詢  |
||
| 聯(lián)系人:吳神恩 (先生) | 手機(jī):18596688429 |
電話: |
傳真: |
| 郵箱:841825244@qq.com | 地址:美國 |
ASML 4022.455.16632ASML 4022.455.16632 ：核心技術(shù)參數(shù)全覽
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，光刻技術(shù)是推動芯片性能提升的關(guān)鍵因素之一。ASML作為全球領(lǐng)先的光刻設(shè)備供應(yīng)商，其產(chǎn)品系列中，ASML 4022.455.16632憑借卓越的技術(shù)參數(shù)和穩(wěn)定的性能，贏得了市場的廣泛認(rèn)可。以下將深入解析ASML 4022.455.16632的核心技術(shù)參數(shù)，幫助讀者全面了解這款先進(jìn)的光刻設(shè)備。
基本信息
●
型號：ASML 4022.455.16632
●
類型：浸沒式光刻機(jī)
●
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于集成電路制造，能夠支持7納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)的芯片生產(chǎn)。
光源系統(tǒng)
●
光源類型：ArF（氬氟）準(zhǔn)分子激光
●
波長：193納米
●
光源功率：高達(dá)120瓦，確保高效率曝光
●
光源穩(wěn)定性：優(yōu)于0.1%的功率波動，確保曝光均勻性
投影系統(tǒng)
●
鏡頭類型：高分辨率浸沒式鏡頭
●
數(shù)值孔徑（NA）：1.35
●
分辨率：支持7納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)
●
套刻精度：優(yōu)于2納米，確保多層圖形的精確對齊
工作臺系統(tǒng)
●
工作臺類型：雙工作臺系統(tǒng)
●
移動速度：可達(dá)500毫米/秒
●
加速度：大于2G，確？焖俣ㄎ
●
定位精度：優(yōu)于1納米，滿足高精度曝光要求
浸沒系統(tǒng)
●
液體介質(zhì)：去離子水
●
浸沒液溫度控制：±0.001攝氏度，確保光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定性
●
浸沒液流動控制：精密控制流動速度和均勻性，減少氣泡和污染
控制系統(tǒng)
●
控制精度：納米級控制，確保高精度曝光
●
自動化程度：高度自動化，減少人為干預(yù)，提高生產(chǎn)效率
●
軟件系統(tǒng)：先進(jìn)的曝光控制和數(shù)據(jù)處理軟件，支持多種工藝要求
環(huán)境要求
●
溫度控制：±0.1攝氏度
●
濕度控制：40% ± 5%
●
潔凈度要求：ISO 14644-1 Class 1級潔凈室環(huán)境
能源消耗
●
電力需求：約400千瓦
●
冷卻水需求：約100立方米/小時(shí)
●
氣體需求：多種工藝氣體，包括氮?dú)、氬氣?/span>
設(shè)備尺寸與重量
●
尺寸（長x寬x高）：約8米x 4米x 3米
●
重量：約50噸
性能優(yōu)勢
●
高分辨率：支持先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)，滿足高性能芯片制造需求。
●
高效率：雙工作臺系統(tǒng)和高速移動能力，提高生產(chǎn)效率。
●
高精度：納米級控制精度和套刻精度，確保芯片制造質(zhì)量。
●
高穩(wěn)定性：穩(wěn)定的光源和浸沒系統(tǒng)，確保長期運(yùn)行的可靠性。
應(yīng)用案例
ASML 4022.455.16632已被全球多家領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商采用，成功應(yīng)用于7納米、5納米及更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的芯片生產(chǎn)中。其卓越的性能為智能手機(jī)、高性能計(jì)算、人工智能等領(lǐng)域的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支持。
綜上所述，ASML 4022.455.16632以其先進(jìn)的技術(shù)參數(shù)和卓越的性能，在全球半導(dǎo)體制造領(lǐng)域占據(jù)重要地位。其高分辨率、高效率、高精度和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，使其成為芯片制造商不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。
聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機(jī)：18596688429（微信同號）郵箱：841825244@qq.com
ASML 4022.455.16632 |
| 版權(quán)聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會員負(fù)責(zé)。機(jī)電之家對此不承擔(dān)任何責(zé)任。 友情提醒：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。 |
機(jī)電之家網(wǎng) - 機(jī)電行業(yè)權(quán)威網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體
關(guān)于我們 | 聯(lián)系我們 | 廣告合作 | 付款方式 | 使用幫助 | 會員助手 | 免費(fèi)鏈接Copyright 2025 jdzj.com All Rights Reserved??技術(shù)支持：機(jī)電之家 服務(wù)熱線：0571-87774297
網(wǎng)站經(jīng)營許可證:浙B2-20080178
