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型號(hào)

ME2

版本

淺真空

高真空傳感器

適用的 Micro-Flow（微流量）傳感器

IL2-M，從 2 psia (≈ 138 mbar) 到氣壓（滑動(dòng)和粘滯流態(tài)）進(jìn)行校準(zhǔn)

IMFS 從 0.01 至 0.2 psia（≈1 至 14 mbar 絕對(duì)壓力）校準(zhǔn)（分子和過(guò)渡流態(tài)）

泄漏率/靈敏度

在 2 psia（≈ 138 mbar 絕對(duì)壓力）下為 1 · 10-4 sccs (≈ 1 · 10-4 mbar l/s

在 0.02 psia（≈ 1 mbar 絕對(duì)壓力）下為 7 · 10-7 sccs

（≈ 1 · 10-7 mbar l/s / 0.2 μm 缺陷尺寸）

壓力范圍

真空——0.01 psia（1 mbar 絕對(duì)壓力）到大氣壓力

尺寸

6 3/4” W x 11 1/8” H x 22 1/4” D / 172 x 283 x 565 mm（不包括連接器和配件）

通氣氣體

干燥、清潔的空氣、氮?dú)�、水蒸氣（可檢測(cè)更多氣體）

氣動(dòng)連接

–    空氣供給

1/4 英寸 Swagelok®

氣動(dòng)連接

–    真空

3/8 英寸到 1 英寸 NW（取決于應(yīng)用）

數(shù)字輸入

5 V DC，用于啟動(dòng)、停止、類(lèi)型、壓力開(kāi)關(guān)、驗(yàn)證的光隔離

數(shù)字輸出

30 V DC-20 mA，用于通過(guò)、失敗、夾緊、測(cè)試類(lèi)型、排氣和定制的光電隔離

模擬輸出

單通道，0-5 V DC 壓力控制

電源

115 V AC / 60 Hz，220 V AC / 50 Hz（可選）

接口

RJ-45 以太網(wǎng)或 RS-232 串行接口