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晶圓光罩架推車是晶圓制造過程中用于存放、搬運(yùn)光罩（Photomask）的專用設(shè)備。光罩是晶圓光刻工藝中至關(guān)重要的元件，它用于將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面。由于光罩的高精度和易損性，光罩架推車需要具有良好的抗震、防塵、無污染和易清潔的特性。下面是晶圓光罩架推車的典型加工流程：

1. 需求分析與設(shè)計(jì)
需求分析：首先，根據(jù)光罩的尺寸、重量和搬運(yùn)需求來確定推車的規(guī)格。光罩架推車必須能夠承受光罩的重量，并且在搬運(yùn)過程中提供穩(wěn)定支撐。設(shè)計(jì)時(shí)還需考慮車輪的移動性、承載能力、鎖定功能等。
設(shè)計(jì)方案：設(shè)計(jì)師依據(jù)需求和工藝要求進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)，包括推車的整體結(jié)構(gòu)、承重部件、輪子配置、連接方式、表面處理方式等。
設(shè)計(jì)圖紙：根據(jù)設(shè)計(jì)方案繪制詳細(xì)的設(shè)計(jì)圖紙，并進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析，確保推車在使用中的穩(wěn)定性和耐久性。
2. 原材料采購與檢驗(yàn)
材料選擇：推車的主要材料通常是不銹鋼（如304、316）或者鋁合金。選擇這些材料是因?yàn)樗鼈兙哂辛己玫哪透g性、抗氧化性、強(qiáng)度高和易清潔的特點(diǎn)。
采購原材料：根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙采購所需的板材、型材、車輪、螺絲、緊固件等。
質(zhì)量檢驗(yàn)：在材料入庫時(shí)，必須進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)，確保原材料沒有缺陷，并符合設(shè)計(jì)要求。檢查包括材質(zhì)檢驗(yàn)、尺寸檢驗(yàn)以及表面質(zhì)量檢查。
3. 零部件加工
切割與成型：根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙，將不銹鋼或鋁合金板材切割成需要的尺寸。切割可以通過激光切割、等離子切割或水刀切割進(jìn)行，確保切割面平整、光滑。
沖孔與打孔：根據(jù)推車設(shè)計(jì)中的需要，進(jìn)行沖孔和打孔操作。打孔通常用于安裝輪子、支架以及其他固定裝置。
折彎與成型：對于需要折彎的部分，使用數(shù)控折彎機(jī)進(jìn)行折彎加工，確保折彎角度和精度。推車的框架通常需要折彎加工，以滿足設(shè)計(jì)的外形和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度要求。
4. 焊接與組裝
焊接：推車的各個部件（如框架、支架等）通過TIG（氬弧焊）或MIG（氣體保護(hù)焊）進(jìn)行焊接。焊接操作要特別注意，防止焊接點(diǎn)的污染和表面不平整。
打磨與清理：焊接后，需要對焊縫進(jìn)行打磨，使表面平整光滑，去除焊接殘留物。打磨后的表面需要清潔，確保無任何污染物。
框架組裝：通過螺絲、螺母等方式將各個組件（如框架、支撐、車輪等）組裝在一起，確保各個部件的穩(wěn)固性與穩(wěn)定性。
5. 表面處理與拋光
表面打磨與清潔：推車的所有表面需要通過專業(yè)工具進(jìn)行打磨，去除毛刺、劃痕和焊接痕跡。確保表面光滑平整，不會對光罩造成刮傷。
表面拋光：通過機(jī)械拋光或化學(xué)拋光提升表面光澤度，使其更加光滑。這一步驟有助于提升清潔性，并減少微塵附著。
酸洗與鈍化：對于不銹鋼材質(zhì)的推車，通常進(jìn)行酸洗和鈍化處理，以去除表面的氧化物，增強(qiáng)其耐腐蝕性，避免對晶圓或光罩造成污染。

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