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無錫潔凈車間配套設(shè)備加工廠，對外承接各種潔凈室晶圓運(yùn)輸車定制加工，源頭自主加工廠家，可以提供定制推車解決方案，以滿足客戶圖紙或要求。我們的內(nèi)部工程團(tuán)隊使用 Solidworks CAD 軟件創(chuàng)建提案圖紙，供客戶在制造前審查，為半導(dǎo)體制造商提供需要獨(dú)特的解決方案來在整個制造設(shè)施內(nèi)放置和運(yùn)輸晶圓產(chǎn)品

加工流程：

1. 設(shè)計和材料選擇

功能設(shè)計：晶圓運(yùn)輸車的設(shè)計需滿足潔凈室的環(huán)境要求，確保能夠在不同生產(chǎn)階段之間順暢轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓，且車體不會對晶圓產(chǎn)生損害。

材料選擇：材料通常選擇具有耐腐蝕、抗靜電以及不易積塵的材質(zhì)，如不銹鋼、鋁合金或抗靜電塑料等。車體表面常經(jīng)過特殊處理，以減少顆粒物的產(chǎn)生。

結(jié)構(gòu)設(shè)計：晶圓運(yùn)輸車的結(jié)構(gòu)設(shè)計要簡潔，通常為開放式或封閉式，便于操作人員放置和取出晶圓。車體要配有抗靜電功能，且輪子、支架、支撐結(jié)構(gòu)需要符合潔凈室的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)。

2. 零部件加工

車架制作：根據(jù)設(shè)計圖紙，通過焊接、銑削、激光切割等工藝制作車架，確保車架堅固且耐用。

輪子和支架：輪子通常采用耐磨、抗靜電的材料制造。支架部分需要確保晶圓能夠穩(wěn)固放置，并防止滑動或傾斜。

表面處理：所有金屬部件都會進(jìn)行拋光、噴涂或涂層處理，減少顆粒物生成，并增加其抗腐蝕性。

防靜電處理：根據(jù)潔凈室要求，所有零部件需采用防靜電處理，如使用導(dǎo)電塑料、導(dǎo)電涂層等，避免靜電對晶圓的影響。

3. 組裝

車體裝配：將各個部件按照設(shè)計要求進(jìn)行組裝，確保各個連接部位牢固，并且能夠平穩(wěn)移動。

輪子安裝：輪子安裝時需確保其轉(zhuǎn)動順暢，且能夠承載一定的重量，確保運(yùn)輸車在潔凈室內(nèi)的流動性。

測試：組裝完成后，對運(yùn)輸車進(jìn)行初步測試，檢查輪子、支架、車架等是否能正常工作，且不會產(chǎn)生過多的顆粒。

4. 清洗和去污染

清潔：由于潔凈室要求極高的潔凈度，運(yùn)輸車在出廠前需要進(jìn)行徹底清洗。清洗過程中，采用專用的潔凈液體進(jìn)行去污，確保沒有殘留的油污、灰塵或其他污染物。

去靜電處理：進(jìn)行靜電釋放處理，確保運(yùn)輸車表面無靜電積聚，避免靜電對晶圓造成損害。

空氣凈化：在潔凈環(huán)境中進(jìn)行清潔和檢驗，確保產(chǎn)品達(dá)到要求的潔凈等級。

5. 檢驗和質(zhì)控

尺寸檢驗：檢驗運(yùn)輸車各部件的尺寸和規(guī)格是否符合設(shè)計要求，確保其適用于特定型號的晶圓。

強(qiáng)度測試：進(jìn)行載重測試，確保運(yùn)輸車能夠承受運(yùn)輸過程中可能出現(xiàn)的各種負(fù)載情況。

功能性測試：進(jìn)行全功能測試，驗證運(yùn)輸車是否能在潔凈室內(nèi)流暢移動，不會對晶圓產(chǎn)生污染，且符合潔凈室的安全標(biāo)準(zhǔn)

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