| LPCVD設(shè)備 青島福潤德 |
 |
價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：山東青島市 | |
| 上架時間：2024-09-25 09:05:53 | 瀏覽量：12 | |
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
 |
||
| 經(jīng)營模式： | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶： | |
 在線咨詢  |
||
| 聯(lián)系人:徐魯陽 (小姐) | 手機:13668894181 |
電話: |
傳真: |
| 郵箱:1181289003@qq.com | 地址: |
|
滿足半導(dǎo)體集成電路，電力電子器件，光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。 CVD系統(tǒng)性能特點： 結(jié)構(gòu)形式：1—4管臥式熱壁型 硅片規(guī)格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片) 溫度范圍：300～1100℃ 恒溫區(qū)長度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h) 淀積薄膜均勻性：片內(nèi)±5％ 片間±5％ 批間±5％ 沉積膜厚度：600～15000A 系統(tǒng)極限真空度：優(yōu)于1Pa 工作壓力范圍：20～133Pa閉環(huán)控制 控制方式：工業(yè)微機 送料裝置：懸臂推拉舟、軟著陸系統(tǒng) 淀積薄膜分類：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜 真空泵：羅茨泵、機械泵 工藝氣路：5路氣／管。VCR接口 40KHz脈寬調(diào)制AE高頻電源 裝片量：200片／舟 |
| 版權(quán)聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責(zé)。機電之家對此不承擔(dān)任何責(zé)任。 友情提醒：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。 |
機電之家網(wǎng) - 機電行業(yè)權(quán)威網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體
關(guān)于我們 | 聯(lián)系我們 | 廣告合作 | 付款方式 | 使用幫助 | 會員助手 | 免費鏈接Copyright 2025 jdzj.com All Rights Reserved??技術(shù)支持：機電之家 服務(wù)熱線：0571-87774297
網(wǎng)站經(jīng)營許可證:浙B2-20080178
