擴散爐 |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:山東青島市 |
最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:山東青島市 | |
上架時間:2024-08-31 09:07:23 | 瀏覽量:31 | |
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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經(jīng)營模式: | 公司類型: | |
所屬行業(yè):電子產(chǎn)品制造設(shè)備 | 主要客戶: | |
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聯(lián)系人:徐魯陽 (小姐) | 手機:13668894181 |
電話: |
傳真: |
郵箱:1181289003@qq.com | 地址: |
擴散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工的硅
片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、 擴散爐技術(shù)指標(biāo):
u可處理硅片尺寸:2—12英寸
u外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu)
u工作溫度:200℃—1300℃
u恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
u單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h
u溫度斜變:可控升溫速率15℃/min
u可控降溫速率:5℃/min
u送片裝置:手動推拉
u氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
u氣體控制:手動浮子流量計
u控制方式:程控
氧化擴散爐性能特點:
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