| 伯東 KRI 考夫曼離子源用于大口徑光學(xué)元件 KDP 晶體的濺射與刻蝕 |
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價(jià)格:11 元(人民幣) | 產(chǎn)地:美國(guó) |
| 最少起訂量:1臺(tái) | 發(fā)貨地:本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間:2020-11-09 15:23:12 | 瀏覽量:149 | |
伯東企業(yè)(上海)有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式:代理商 | 公司類型:外商獨(dú)資 | |
| 所屬行業(yè):真空泵 | 主要客戶: | |
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為了滿足激光慣性約束核聚變對(duì)光學(xué)晶體磷酸二氫鉀(KDP)晶體所需的面形精度、表面質(zhì)量的高要求, 對(duì)降低 KDP 晶體表面粗糙度和消除 KDP 晶體表面周期性刀痕, 某廠商采用離子源產(chǎn)生的離子束進(jìn)行KDP晶體的沉積修正拋光.
該廠商采用雙離子源濺射沉積系統(tǒng), 其中一個(gè)離子源采用伯東 KRI 聚焦射頻離子源 RFICP 380 對(duì)靶材進(jìn)行濺射, 另一個(gè)離子源采用伯東 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 對(duì)樣品進(jìn)行離子刻蝕.
其工作示意圖如下:
用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):
推薦理由: 聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染
用于刻蝕的 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 技術(shù)參數(shù):
* 可選: 可調(diào)角度的支架
推薦理由: 使用 KRI 平行型射頻離子源 RFICP 100 可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕, 可以使大口徑光學(xué)元件 KDP 晶體表面更均勻
運(yùn)行結(jié)果: 1. 濺射沉積的KDP晶體表面的均勻性在5%以內(nèi), 刻蝕均勻性在5%以內(nèi) 2. 離子束刻蝕可以消除KDP晶體表面周期性刀痕 3. KDP晶體表面粗糙度降低到1.5nm,達(dá)到了預(yù)期目的
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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