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可研磨的PTFE/PFA半導體涂層是一種高性能復合涂層,結(jié)合了PTFE(聚四氟乙烯)和PFA(全氟烷氧基化合物)的優(yōu)點。這種涂層不僅具有傳統(tǒng)PTFE和PFA涂層的低摩擦、不粘性和耐化學性,還具備在需要時可以通過研磨達到精確形狀和表面光潔度的特性。以下是對可研磨的PTFE/PFA半導體涂層的介紹及其在特定設(shè)備和部件中的應用。 可研磨的PTFE/PFA涂層介紹 1. 材料特性 可研磨的PTFE/PFA涂層由PTFE和PFA復合而成,具有低摩擦系數(shù)、優(yōu)異的不粘性和高耐化學性。這種復合涂層可以在涂覆后通過研磨處理,達到所需的表面光潔度和精確尺寸。 2. 涂層工藝 涂層通常通過噴涂、電泳或浸涂等方法進行涂覆,之后在高溫下固化。固化后的涂層可以通過機械研磨或拋光處理,確保其表面光滑且符合高精度要求。 3. 耐高溫性能 PTFE/PFA涂層在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定,能夠承受半導體制造過程中常見的高溫工藝步驟而不發(fā)生降解。 應用設(shè)備及其部件 4.CMP(化學機械平坦化)設(shè)備 CMP設(shè)備用于半導體晶圓的平坦化工藝,要求設(shè)備部件具有極高的表面光潔度和耐磨性?裳心サ腜TFE/PFA涂層可用于CMP設(shè)備中的拋光墊、拋光頭和支撐環(huán)等部件。這些部件需要耐化學腐蝕、低摩擦和高耐磨性,以確保在長時間運行中保持穩(wěn)定和高效。 5. 閥門和密封件 半導體制造過程涉及多種腐蝕性化學品,閥門和密封件需要高耐化學性和低摩擦特性?裳心サ腜TFE/PFA涂層可應用于各種閥門、密封圈和墊片,提供優(yōu)異的密封性能和耐久性,防止泄漏和磨損,確保設(shè)備長期穩(wěn)定運行。 【PTFE特氟龍,哈拉h(huán)alar,PFA氟樹脂涂層加工,可研磨的PFA涂層,半導體PFA涂層在CMP設(shè)備、閥門、密封件、檢測儀器,氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工,200um涂層厚度,平面精度可控在2um±公差以內(nèi),等應用防腐耐酸,耐磨,防等離子氣,防金屬離子析出,經(jīng)過特殊的工藝處理,在惡劣的環(huán)境下使用,可延長使用壽命,涂層不脫層,不起皮,可耐50%的濃酸】 涂層參數(shù) 厚度:100-300um 顏色:灰,黑,白 附著力:>8Mpa 涂層硬度:3H |
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