| DC-M100C/M 數(shù)字式流量控制器/計(jì) |
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數(shù)字式中量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)DC-M100C/M主要應(yīng)用在量程范圍從30SLM--100SLM之間氣體流量的測(cè)量和控制,產(chǎn)品最大耐壓能達(dá)10Mpa,采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點(diǎn),適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)
性能特點(diǎn):
1、響應(yīng)速度快 2、耐壓3Mpa或10MPa
3、抗干擾性強(qiáng) 4、寬壓力范圍
5、流量控制精準(zhǔn) 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠(yuǎn)
技術(shù)參數(shù):
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘) SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)
標(biāo)準(zhǔn)狀況:溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
應(yīng)用行業(yè): 真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。
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