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RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺
RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:北京順義區(qū)
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2024-04-28 11:56:33 瀏覽量:171
北京瑞邦精控科技有限公司  
經(jīng)營模式: 公司類型:
所屬行業(yè):儀器儀表加工設(shè)備 主要客戶:高校,企業(yè),科研單位
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:王欣悅 (小姐) 手機:18145668702
電話: 傳真:
郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細介紹

產(chǎn)品特點 

l ?  直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l ?  旋轉(zhuǎn)軸行程±90°*360°(AB軸)

l ?  XYZ交叉滾柱導軌,納米級定位紋波

l ?  AB軸氣浮轉(zhuǎn)臺,亞微米跳動誤差

l ?  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

l ?  結(jié)構(gòu)、行程可定制

 

應(yīng)用領(lǐng)域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺用于曲面飛秒激光加工。

 

產(chǎn)品簡介

XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向,直線電機驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反饋,XY軸平面式結(jié)構(gòu),最大限度降低高度,減小系統(tǒng)誤差影響;此外XY軸可定制抱閘功能,抱閘位置漂移可控制在10nm內(nèi)。

Z軸直驅(qū)力矩電機驅(qū)動,交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋,獲得納米級定位紋波;

AB軸氣浮軸承、力矩電機驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反饋,閉式氣浮結(jié)構(gòu),對結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計,氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預壓高剛度,側(cè)向放置承載能力大,解決氣浮抱死的問題。優(yōu)秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾角誤差,使AB軸正交2~10arc sec,軸向線重合度2~10μm。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好,應(yīng)用于運動臺上質(zhì)量可靠,品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析,優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸,可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計。


規(guī)格指標

軸系

測試項目

單位

指標要求

實測指標

X

行程

mm

200

200

補償后定位精度

μm

±0.5

±0.07

雙向重復定位精度

μm

±0.15

±0.05

直線度

μm

±1.5

±1.1

平面度

μm

±2

±0.45

工作速度

mm/s

100

100

Y

行程

mm

200

200

補償后定位精度

μm

±0.75

±0.15

雙向重復定位精度

μm

±0.25

±0.04

直線度

μm

±1.5

±1.2

平面度

μm

±4

±0.9

工作速度

mm/s

100

100

A

行程

°

±90

±90

補償后定位精度

arc sec

±2

±0.4

雙向重復定位精度

arc sec

±1

±0.15

軸向跳動誤差

μm

0.5

0.2

徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

B

行程

°

360

360

補償后定位精度

arc sec

±2

±0.4

雙向重復定位精度

arc sec

±1

±0.2

軸向跳動誤差

μm

0.5

0.1

徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

Z

行程

mm

150

150

補償后定位精度

μm

±0.5

±0.4

雙向重復定位精度

μm

±0.1

±0.06

直線度

μm

±1

±0.05

平面度

μm

±1

±0.35

工作速度

mm/s

50

50

XYAB

負載

kg

1

1

Z

負載

kg

20

20

 

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