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RBN-XY系列雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)
RBN-XY系列雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái) 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國
上架時(shí)間:2024-04-24 11:35:50 瀏覽量:128
北京瑞邦精控科技有限公司  
經(jīng)營模式: 公司類型:
所屬行業(yè):儀器儀表加工設(shè)備 主要客戶:高校,企業(yè),科研單位
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:王欣悅 (小姐) 手機(jī):18145668702
電話: 傳真:
郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?  緊湊式直驅(qū)結(jié)構(gòu)                                                      ?  重復(fù)定位精度±50nm

?  抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌                                              ?  直線度和平面度±0.5μm

?  微動(dòng)步距≤2nm                                                        ?  可定制高真空版本

 


應(yīng)用領(lǐng)域

RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),具有納米級微動(dòng)步距,亞微米級重復(fù)定位精度,高動(dòng)態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效地降低工作點(diǎn)的高度,減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),具有零齒槽、高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)。運(yùn)動(dòng)臺(tái)在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持平穩(wěn),在高速狀態(tài)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)?谷鋭(dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌,滾柱間線線接觸,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),交叉排列,多方向受力穩(wěn)定。

 

精度性能

非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋,通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控,獲得高精度指標(biāo),定位精度±0.1μm,雙向重復(fù)定位精度±50nm,直線度和平面度±0.5μm。

 

微動(dòng)步距

對有微動(dòng)步距要求的應(yīng)用領(lǐng)域,如最小步距運(yùn)動(dòng)、對準(zhǔn)應(yīng)用等,微動(dòng)步距≤2nm,對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求,更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。

 

定制化

可定制高真空環(huán)境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多軸結(jié)構(gòu)等;根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺(tái)等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。


規(guī)格指標(biāo)

型號

單位

RBN-50XY

RBN-110XY

RBN-150XY

行程

mm

50 x 50

110 x 110

150 x 150

補(bǔ)償后定位精度 

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1

±0.1

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.25

±0.3

±0.3

雙向重復(fù)定位精度 

Plus (1)

μm

±0.025

±0.05

±0.05

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.1

±0.1

±0.1

直線度 (2)

Plus (1)

μm

±0.25

±0.5

±0.5

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±1

±1.5

平面度 (2)

Plus (1)

μm

±0.5

±0.5

±0.5

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±1

±1.5

Pitch Roll (2)

Plus (1)

arc sec

±2.5

±3

±3

標(biāo)準(zhǔn)值

±5

±5

±5

Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±1

±1

±1

標(biāo)準(zhǔn)值

±2.5

±2.5

±2.5

電子分辨率 (3) 

nm

0.3 5(選配)

速度 (空載) (4)

mm/s

200

加速度 (空載) (4)

m/s?

1,5 定制

負(fù)載

kg

20

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級VC-E,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下的精度指標(biāo),速度和加速度取決于負(fù)載大小。

 

 

 

 

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