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空氣過濾器

本產品針對MOCVD系列外延片生產設備設計的尾氣過濾器，過濾器使用的是美國HV濾紙，該產品過濾精度高，透氣度大：過濾器骨架采用金屬5孔沖孔網焊接，連接專用金屬絲網而成，外觀整齊，與骨架連接緊湊，強度大，不易脫落，耐壓性能好，耐高溫，環(huán)保。

主要特性：

         1、采用寬尺寸折波工藝，過濾面積比傳統(tǒng)增大30%，納污能力更強，更換周期更長，在CRIUS II-XL和AIX G5 HT設備上使用達到90-100爐。

         2、專用的玻纖過濾材料，空隙更均勻，透氣性更好，使用壓差低，有效保護MOCVD設備：

         3、具有優(yōu)良的強度，阻燃，耐高溫，耐腐蝕，適應過濾MOCVD尾氣的苛刻環(huán)境。

應用參數：

        1、工作溫度：150C°-----300C°

        2、產品規(guī)格：高度270mm,外徑125mm，內徑58mm

        折數：70折，折高：25mm，丁晴密封膠：90*70*5T

        3、過濾精度：25um@98%

        4、建議更換周期：30-55天（滿負荷生產）