| 二手電鏡 |
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上海恒勤儀器設(shè)備有限公司
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二手電鏡 成像方式與掃描電鏡相似，不過接收的不是次級(jí)電子而是透射電子（包括部分小角散射電子）。樣品也必須是薄膜，STEM的分辨本領(lǐng)與電子束斑直徑相當(dāng)。專門的STEM用高亮度場(chǎng)致發(fā)射電子槍（要求10-10托的超高真空）。分辨本領(lǐng)能達(dá)3┱。利用這種STEM已觀察到輕元素支持膜上的單個(gè)重原子。對(duì)實(shí)際工作尤為重要的是可以利用它的微小電子束斑作極微區(qū)（幾十埃）的晶體結(jié)構(gòu)分析（用電子衍射）和成分分析（用電子束激發(fā)的標(biāo)識(shí)X 射線或者用電子能量損失譜）。目前商品TEM可以帶有STEM附件，不過因?yàn)闆]有高亮度場(chǎng)致發(fā)射槍，所以只能將束斑縮到幾十埃。能做約100┱范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)和成分分析。能在觀察顯微像的同時(shí)在其任意一個(gè)微小的局部做上述分析的電鏡叫“分析電鏡”。 除次級(jí)電子外，用背散射電子（經(jīng)過多次散射后又從試樣表面出來的入射電子）成像可辨別原子序數(shù)的差別。用標(biāo)識(shí)X 射線成像可辨別元素分布。其他效應(yīng)如陰極熒光、電子束誘導(dǎo)電流在半導(dǎo)體材料和器件中有其應(yīng)用。用電子溝道效應(yīng)可得出晶體取向信息。 TEM襯度的形成，物鏡后焦面是起重要作用的部位。電子經(jīng)樣品散射后，相對(duì)光軸以同一角度進(jìn)入物鏡的電子在物鏡后焦面上聚焦在一個(gè)點(diǎn)上。散射角越大，聚焦點(diǎn)離軸越遠(yuǎn)，如果樣品是一個(gè)晶體，在后焦面上出現(xiàn)的是一幅衍射圖樣。與短晶面間距（或者說“高空間頻率”）對(duì)應(yīng)的衍射束被聚焦在離軸遠(yuǎn)處。在后焦面上設(shè)有一個(gè)光闌。 https://www.chem17.com/st505693/list_2303863.html |
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