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美國(guó)艾里卡特ALICAT國(guó)內(nèi)代理商氣體質(zhì)量流量計(jì) 控制器性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MB系列）或者100:1（MBS系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：5-10ms
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

美國(guó)艾里卡特ALICAT國(guó)內(nèi)代理商氣體質(zhì)量流量計(jì) 控制器工作條件

• 兼容氣體：98（MB系列）或130（MBS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 差壓（進(jìn)口至出口）：75 psid
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

美國(guó)艾里卡特ALICAT國(guó)內(nèi)代理商氣體質(zhì)量流量計(jì) 控制器包裝清單

• MB系列便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì)（已充滿電）
• 微型USB充電線纜和AC壁裝式適配接頭
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)

• 艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)