型號(hào)變體
- 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
- 閥門內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
- 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）
另有：
- 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)(MC系列)
| 半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器 |
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價(jià)格：9980 元(人民幣) | 產(chǎn)地：美國(guó) |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：北京 | |
| 上架時(shí)間：2022-07-01 10:00:13 | 瀏覽量：322 | |
北京芯笙微納電子科技有限公司
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半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對(duì)端的匹配連接。
MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。
半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器
型號(hào)變體
另有：
艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。
MCV-0.5SCCM-D 
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