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真空泵維修 KNF真空泵真空度不高維修檢測(cè)，機(jī)械泵在1pa以下工作性能很差.為了更好地與擴(kuò)散泵配合，在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間可設(shè)置增壓泵.增壓泵可以選用羅茨泵和油增壓泵等

真空泵在投入生產(chǎn)使用中，一旦發(fā)生故障，會(huì)耽誤工期進(jìn)展，設(shè)備的維護(hù)，是每個(gè)企業(yè)都十分重視的事情。只是在實(shí)際操作中，企業(yè)會(huì)使用不同的設(shè)備，但它們產(chǎn)生故障的問(wèn)題基本相同。例如，接下來(lái)我們要了解的真空泵出現(xiàn)故障后該怎么解決。

真空泵故障維修分析內(nèi)容如下：
如果真空泵不能啟動(dòng)，就相當(dāng)于一臺(tái)計(jì)算機(jī)，即使按標(biāo)準(zhǔn)操作，仍然不能正常操作，影響工作效率。當(dāng)這種情況發(fā)生時(shí)，如何使設(shè)備在較短的時(shí)間內(nèi)繼續(xù)投入正常生產(chǎn)是本文的主題。

在這種情況下，容器中的壓力再也不會(huì)降低了 有如此多類型的干式泵可供選擇，而選一個(gè)能和您的半導(dǎo)體工藝相匹配的類型是關(guān)鍵所在，篇:真空引水幾個(gè)要注意的問(wèn)題2X型旋片式真空泵X型旋片式真空泵XZ型旋片式真空泵WX型無(wú)油真空泵XD型旋片式真空泵水環(huán)式真空泵系列BV型水環(huán)式真空泵BE型水環(huán)式真空泵SK型水環(huán)式真空泵SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵SK型水環(huán)式真。 設(shè)計(jì)中必須采用一定措施才能滿足使用條件，常見(jiàn)的特殊工況及設(shè)計(jì)處理方法如下，①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者類似具有較高蒸氣壓的氣體，如:乙醉，鹵代烴等，抽除這類氣體采用羅茨泵與水環(huán)泵的機(jī)組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機(jī)組均可。

真空泵出現(xiàn)故障時(shí)，首先檢查設(shè)備電源接頭連接是否松動(dòng)，保險(xiǎn)絲是否熔斷;然后檢查設(shè)備本身是否有機(jī)械故障，如葉輪與泵體之間是否有雜物，這些雜物是否會(huì)造成堵塞;泵軸、軸承和減漏設(shè)備是否生銹;泵軸彎曲程度等。

轉(zhuǎn)子偏置在殼體中，炭精葉片與轉(zhuǎn)子滑槽作精密配合，借彈簧壓力使之緊靠于外殼內(nèi)壁表面，殼體上部的進(jìn)氣口與真空缸相連，并由止回閥防止空氣和潤(rùn)滑油倒流，下部有出油孔通向曲軸箱工作過(guò)程和原理是:抽吸作用，由于轉(zhuǎn)子在殼體中偏置。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa 隨泵一起振動(dòng)，③設(shè)備基礎(chǔ)為橡膠支座，設(shè)備支撐類型屬于柔性支撐，橡膠支座與泵和電機(jī)底盤僅有6個(gè)橡膠支座支撐，且接觸形式為點(diǎn)接觸，底盤其余部分與基礎(chǔ)懸空，未與基礎(chǔ)接觸，綜合上述分析，由水環(huán)真空泵振動(dòng)檢測(cè)的結(jié)果可知。

真空泵維護(hù)保養(yǎng)要點(diǎn)：
1、真空泵停止后，應(yīng)將真空泵泵及管路中殘留的水排空，并清理外部泥土，以免泵體及水管結(jié)冰后膨脹開(kāi)裂。

2、真空泵底閥、彎頭等鑄鐵件，應(yīng)先用鋼絲刷刷，然后涂上防銹漆后再噴涂。干燥后應(yīng)存放在機(jī)房或儲(chǔ)藏室通風(fēng)干燥處。
3、如果皮帶是由皮帶驅(qū)動(dòng)的，皮帶取下后應(yīng)用溫水清洗，晾干后掛在干燥無(wú)陽(yáng)光直射的地方，不得存放于有油、腐蝕、有煙的地方。皮帶在任何情況下都不能沾上機(jī)油、柴油或汽油等油類物質(zhì)，也不能涂上松香等粘性物質(zhì)。

4、檢查滾珠軸承。如果內(nèi)套磨損、松動(dòng)、球磨或表面有，請(qǐng)更換。對(duì)于不需要更換的軸承，用汽油或煤油清洗，潤(rùn)滑后重新安裝。

在崗位上對(duì)操作人員來(lái)說(shuō),傾聽(tīng)?wèi)?yīng)該是時(shí)時(shí)處處，絕不能稀里糊涂，真空泵維修人員判斷故障應(yīng)掌握哪些知識(shí)?
（1）搞清楚設(shè)備及所屬零部件的形狀、排列順序和所處的位置；
（2）應(yīng)熟知零部件的完好標(biāo)準(zhǔn)；
（3）應(yīng)了解設(shè)備的用途,各零部件的作用；
（4）應(yīng)了解設(shè)備各組成部分的材質(zhì)；
（5）清楚零部件配合的技術(shù)要求。hjdgyabchjac

真空泵維修 Leybold真空泵啟動(dòng)沒(méi)有反應(yīng)維修檢修：http://www.jdzj.com/jiage/5_17663418.html