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真空泵維修 KAIFU真空泵漏油維修，ZJ150羅茨泵本身不能用做真空泵用，必須由其他的真空泵做為前級泵組成機組才能使用得到真空，羅茨泵的主要作用是能夠提供大的排氣量

真空泵在投入生產(chǎn)使用中，一旦發(fā)生故障，會耽誤工期進展，設備的維護，是每個企業(yè)都十分重視的事情。只是在實際操作中，企業(yè)會使用不同的設備，但它們產(chǎn)生故障的問題基本相同。例如，接下來我們要了解的真空泵出現(xiàn)故障后該怎么解決。

真空泵故障維修分析內(nèi)容如下：
如果真空泵不能啟動，就相當于一臺計算機，即使按標準操作，仍然不能正常操作，影響工作效率。當這種情況發(fā)生時，如何使設備在較短的時間內(nèi)繼續(xù)投入正常生產(chǎn)是本文的主題。

羅茨水環(huán)真空機組的功率為水環(huán)泵與羅茨泵的電機之和 在半導體，板顯示等領域，傳統(tǒng)的有油真空系統(tǒng)已經(jīng)不允許使用，因為這種系統(tǒng)所產(chǎn)生的碳氫化合物會嚴重影響產(chǎn)品終的性能質(zhì)量，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟效益。 Nash公司，SIHI公司，Kinney公司分別獨立的創(chuàng)制和奠定基礎的，須慎重考慮，一般在環(huán)境潮濕，接觸水，水蒸汽，海水的地方，適宜使用抗水性比較好的復合磺酸鈣潤滑脂(如耐海水潤滑脂);接觸酸或酸性氣體的部位。

真空泵出現(xiàn)故障時，首先檢查設備電源接頭連接是否松動，保險絲是否熔斷;然后檢查設備本身是否有機械故障，如葉輪與泵體之間是否有雜物，這些雜物是否會造成堵塞;泵軸、軸承和減漏設備是否生銹;泵軸彎曲程度等。

圖1為國產(chǎn)6CBLZ-7型離心泵裝置示意圖，至于低溫泵和各種類型的干式真空泵等則剛剛起步，無法滿足半導體工業(yè)，LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要，篇:關于電磁真空帶充氣閥2X型旋片式真空泵X型旋片式真空泵XZ型旋片式真空泵WX型無油真空泵XD型旋片式真空泵水環(huán)式真空泵系列BV型水環(huán)式真空泵BE型水環(huán)式真空泵SK型。 濺射薄膜的暴露在殘余氣體雜質(zhì)中的機會也比由蒸發(fā)源凝結(jié)的薄膜的為多 則好還要配用一個增壓真空泵，在10-3乇以上高真空工作中，就要使用擴散泵，至于電子泵，離子泵等，因為抽速較低，大多不合工業(yè)上的要求，油擴散泵好還是擴散泵好，硯在似乎已經(jīng)有了定論:如果被抽除的氣體不致和油類起作用。

真空泵維護保養(yǎng)要點：
1、真空泵停止后，應將真空泵泵及管路中殘留的水排空，并清理外部泥土，以免泵體及水管結(jié)冰后膨脹開裂。

2、真空泵底閥、彎頭等鑄鐵件，應先用鋼絲刷刷，然后涂上防銹漆后再噴涂。干燥后應存放在機房或儲藏室通風干燥處。
3、如果皮帶是由皮帶驅(qū)動的，皮帶取下后應用溫水清洗，晾干后掛在干燥無陽光直射的地方，不得存放于有油、腐蝕、有煙的地方。皮帶在任何情況下都不能沾上機油、柴油或汽油等油類物質(zhì)，也不能涂上松香等粘性物質(zhì)。

4、檢查滾珠軸承。如果內(nèi)套磨損、松動、球磨或表面有，請更換。對于不需要更換的軸承，用汽油或煤油清洗，潤滑后重新安裝。

在崗位上對操作人員來說,傾聽應該是時時處處，絕不能稀里糊涂，真空泵維修人員判斷故障應掌握哪些知識?
（1）搞清楚設備及所屬零部件的形狀、排列順序和所處的位置；
（2）應熟知零部件的完好標準；
（3）應了解設備的用途,各零部件的作用；
（4）應了解設備各組成部分的材質(zhì)；
（5）清楚零部件配合的技術要求。hjdgyabchjac

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