| YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510 |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
| 最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
| 上架時間:2020-09-25 11:21:35 | 瀏覽量:133 | |
柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司
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| 經(jīng)營模式:貿(mào)易型 | 公司類型: | |
| 所屬行業(yè):科學儀器/實驗儀器 | 主要客戶: | |
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| 聯(lián)系人:錢 (先生) | 手機:13817633069 |
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YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓,玻璃基板對應
特征
·大口徑(Φ215mm)石英反應腔
·小型一體化設(shè)計
·操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)
規(guī)格
型號
PR500
PR510
模式
DP模式,桶型
控制部
高頻輸出功率
Max500W
頻率
13.56MHz
同調(diào)方式
自動協(xié)調(diào)
反應部
反應腔
石英 Φ215×305mm
反應氣體
2系統(tǒng)(O2/CF4)
控制
手動
觸摸屏自動控制
配管材質(zhì)
不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
W438×D520×H760mm
參照規(guī)格書
重量
約60kg
參照規(guī)格書
電源
單相AC100V 9A
三相AC200V 8A
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