| YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2020-09-25 11:21:35 | 瀏覽量：133 | |
柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
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| 經(jīng)營模式：貿(mào)易型 | 公司類型： | |
| 所屬行業(yè)：科學儀器/實驗儀器 | 主要客戶： | |
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YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
YAMATO雅馬拓等離子灰化機 PR500/510用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應
特征
·大口徑（Φ215mm）石英反應腔
·小型一體化設(shè)計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規(guī)格
型號
PR500
PR510
模式
DP模式，桶型
控制部
高頻輸出功率
Max500W
頻率
13.56MHz
同調(diào)方式
自動協(xié)調(diào)
反應部
反應腔
石英 Φ215×305mm
反應氣體
2系統(tǒng)（O2／CF4）
控制
手動
觸摸屏自動控制
配管材質(zhì)
不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
W438×D520×H760mm
參照規(guī)格書
重量
約60kg
參照規(guī)格書
電源
單相AC100V 9A
三相AC200V 8A
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