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YAMATO雅馬拓等離子清洗機 V1000

	價格：元(人民幣)	產地：本地
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時間：2020-09-25 11:15:20	瀏覽量：124
	柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
	經營模式：貿易型	公司類型：
	所屬行業(yè)：科學儀器/實驗儀器	主要客戶：
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:錢 (先生)	手機:13817633069
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詳細介紹

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規(guī)格提供定制。

YAMATO雅馬拓等離子清洗機 V1000用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

內槽

YAMATO雅馬拓等離子清洗機 V1000規(guī)格

型號 V1000 V1000X V1000XS

等離子模式 DP/RIE

高頻電源 13.56MHz

輸出功率 Max1000W Max1000 & 1500W

有效電極尺寸 W280×D280mm W300×D300mm W400×D375mm

電極平行平板 2段電極（獨立）平板（多目的）

反應氣體聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）

真空泵（標配）約1000L/min 約1500L/min 1000 & 1500L/min

安全裝置門檢測開關、聯(lián)鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

管路連接圖

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