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化合物半導(dǎo)體用快速退火爐
化合物半導(dǎo)體用快速退火爐 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2022-07-31 03:45:47 瀏覽量:120
北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:其他 公司類型:[db:公司類型]
所屬行業(yè): 主要客戶:全國(guó)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人: () 手機(jī):01082254950
電話: 傳真:
郵箱: 地址:北京市石景山區(qū)八大處路49號(hào)點(diǎn)石商務(wù)公園1號(hào)樓903室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

品牌 產(chǎn)地類別 應(yīng)用領(lǐng)域
其他品牌進(jìn)口
醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子

化合物半導(dǎo)體用快速退火爐快速熱處理設(shè)備,快速退火爐(RTP)、DLI-CVD直接注入式化學(xué)氣相沉積設(shè)備,其研發(fā)生產(chǎn)的型號(hào)AS-Master快速退火爐,可適用基片尺寸8英寸以下兼容,可升級(jí)為全自動(dòng)模式。

詳情介紹

化合物半導(dǎo)體用快速退火爐詳情:

1、可適用基片類型:
硅和化合物半導(dǎo)體晶圓,GaN /藍(lán)寶石和碳化硅晶圓,多晶硅晶圓,玻璃,金屬,高分子聚合物,石墨和碳化硅托盤等等。


2、應(yīng)用:
注入退火、歐姆接觸退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速熱氧化RTO、快速熱氮化RTN、致密和結(jié)晶、硒化、快速熱CVD(多晶硅、SiO2, SiNx)


3、產(chǎn)品特性:
多區(qū)紅外線鹵素?zé)敉嘶馉t配有閉環(huán)空氣冷卻
不銹鋼冷壁腔室技術(shù)
快速數(shù)字PID溫度控制器
熱電偶和高溫計(jì)控制
大氣和真空工藝性能
配有針閥的吹掃氣路
多6條工藝氣路,配有MFC
配有以太網(wǎng)通訊的PC控制,用于快速數(shù)據(jù)記錄
可選配渦旋泵和壓力控制
手動(dòng)或盒到盒裝載


4、多配置選擇:
S20: 標(biāo)準(zhǔn), 6個(gè)區(qū)域, *高到1150°C,升溫速率可達(dá)100°C/s
S20 HT: 高溫, 6 個(gè)區(qū)域, *高到1450°C,升溫速率可達(dá)200°C/s
2000: 增強(qiáng)均勻性, 10個(gè)區(qū)域, *高到1250°C,升溫速率可達(dá)150°C/s
2000 HT: 可在S20 HT或2000配置中運(yùn)行
多溫度端口位置以滿足不同基片尺寸
可選配適用于低真空工藝的抽真空腔室
氣體面板用于CVD應(yīng)用的退火
可選配壓力控制
可選配渦輪泵
盒到盒版本

化合物半導(dǎo)體用快速退火爐 

 

 北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司是一家在半導(dǎo)體微電子、高精密光學(xué)鍍膜領(lǐng)域,光伏、光熱、鋰電池等新能源領(lǐng)域以及窗膜、汽車膜、柔性電路板等行業(yè)提供專業(yè)相關(guān)工藝設(shè)備的代理公司。
   從2006年起與德國(guó)著名微電子設(shè)備專業(yè)廠家FHR公司開始合作,并于2008年成為其中國(guó)區(qū)的代理機(jī)構(gòu)。通過(guò)我們的合作,使 FHR的產(chǎn)品逐漸進(jìn)入中國(guó),并成為國(guó)內(nèi)鍍膜設(shè)備的供貨商。
   我們于 2010 年在北京石景山中關(guān)村高科技園區(qū)成立了專業(yè)代理國(guó)外微電子半導(dǎo)體及相關(guān)設(shè)備的北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司,并與*技術(shù)供貨商建立合作關(guān)系,為公司全面化運(yùn)轉(zhuǎn)及操作奠定了良好開端。

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