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mocvd加熱圈
mocvd加熱圈 價格:  元(人民幣) 產地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2019-05-06 23:09:59 瀏覽量:127
廣東昭信半導體裝備制造有限公司  
經營模式:其他 公司類型:廣東昭信半導體裝備制造有限公司
所屬行業(yè):分立半導體 主要客戶:全國
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詳細介紹

設備名稱mocvd加熱圈
品牌kete
型號465
用途mocvd加熱系統(tǒng)加熱體
產地湖南
交貨期20天
展開
mocvd加熱圈
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mocvd概述
mocvd(metal organic ch emical vapordeposition,金屬有機物化學氣相沉積)技術,又稱omvpe、movpe等,是1968年由美國洛克威爾公司提出來的一項制備化合物半導體單薄膜的新技術。mocvd方法是將稀釋于載氣中的金屬有機化合物與ⅴ族或ⅵ族元素的氫化物在被加熱的外延襯底上進行分解并發(fā)生反應,反應后的生成物沉積到外延襯底上從而形成外延薄膜的一種技術,利用這種技術可以生長出納米級的高質量薄膜,正是由于這個特點使得mocvd技術廣泛的應用到半導體器件的生產與制造中[1]。這種技術現(xiàn)在已經成為iii-v、ii-vi族化合物半導體高質量器件多層結構生長的***靈活、成本***低、效率的技術,近幾十年以半導體技術的進步為驅動力的it產業(yè)的快速發(fā)展,特別是新型半導體光電器件和微波器件的迅猛發(fā)展,巨大的市場需求以及mocvd技術的不斷進步,使mocvd成為了需求巨大的半導體制造關鍵核心設備,也是光電子行業(yè)中***有發(fā)展前途的專用設備之一。該設備集精密機械、半導體材料、真空電子、流體力學、光學、化學、計算機等多學科為一體,是一種自動化程度高、價格昂貴、技術集成度高的尖端光電子專用設備[2]。目前mocvd設備已廣泛應用于gan(氮化鎵)系半導體材料的外延生長和藍色、綠色或紫外發(fā)光二極管芯片、異質結雙極晶體管(hbt)、高電子遷移率晶體管(hfet)、太陽能電池、場效應管(fet)以及光學探測器等半導體器件的制造與研究中,可見mocvd在半導體行業(yè)中具有著舉足輕重的地位。

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