| 派瑞林涂層設(shè)備 Parylene 德國原裝進(jìn)口 DIENER P260 |
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派瑞林涂層設(shè)備 Parylene 德國原裝進(jìn)口 DIENER P260
Parylene涂層設(shè)備P260
聚二甲苯是一系列基于P-對(duì)二甲苯聚合物的總稱。
聚對(duì)二甲苯涂層來自于粉末狀的涂層原料,根據(jù)
分子結(jié)構(gòu)的不同,Parylene可分為N型、C型、
D型、HT型等多種類型。經(jīng)過一系列的化學(xué)氣象
沉積,聚合而成的薄膜有著非凡的性能。
Parylene涂層優(yōu)勢(shì)
l 可抵抗化學(xué)和環(huán)境侵蝕,對(duì)產(chǎn)品無副作用
l 所形成的涂層具有完美的均勻性、縫隙滲透性
l 室溫下既可以進(jìn)行涂層,防止高溫?fù)p壞基材
l 潤(rùn)滑性能好
l 光透過性能好
技術(shù)參數(shù):
Parylene N, C, D,
F-VT4,F-AF4
涂層厚度: 0.05 ~ 100 um
裂解管功率及溫度: 4 kW / max. 850 °C
Gas injection:
homogenous dispersal system
樣品艙:Φ640*H800mm
樣品臺(tái):Φ560*H650mm
耦合劑CVD一體化設(shè)計(jì)
冷卻方式:液氮
等離子預(yù)處理模塊:80kHz 0~5kW
真空泵系統(tǒng):
Leybold D60雙級(jí)油泵,排氣速度63m3/h,極限真空度0.5Pa
控制: Windows Full PC
外形尺寸:W2600*D1000*2000mm
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