| 派瑞林涂層設(shè)備 Parylene 德國原裝佳能口 DIENER P6 |
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派瑞林涂層設(shè)備 Parylene 德國原裝佳能口 DIENER P6 聯(lián)系人:肖經(jīng)理
Parylene涂層設(shè)備 P6
聚二甲苯是一系列基于P-對(duì)二甲苯聚合物的總稱。
聚對(duì)二甲苯涂層來自于粉末狀的涂層原料,根據(jù)
分子結(jié)構(gòu)的不同,Parylene可分為N型、C型、
D型、HT型等多種類型。經(jīng)過一系列的化學(xué)氣象
沉積,聚合而成的薄膜有著非凡的性能。
Parylene涂層優(yōu)勢
l 可抵抗化學(xué)和環(huán)境侵蝕,對(duì)產(chǎn)品無副作用
l 所形成的涂層具有完美的均勻性、縫隙滲透性
l 室溫下既可以進(jìn)行涂層,防止高溫?fù)p壞基材
l 潤滑性能好
l 光透過性能好
主要技術(shù)參數(shù):
1.
全自動(dòng)控制
2.
涂層材料:聚對(duì)二甲苯,聚一氯對(duì)二甲苯和聚二氯對(duì)二甲苯
3.
涂層厚度:0.05~50μm
4.
熱解:5KW , 最高溫度 700℃
5.
進(jìn)氣含均勻分散系統(tǒng)
6.
冷卻:液氮最低可達(dá)﹣100℃
7.
極限壓力:1×10-3mbar
,配有兩個(gè)皮拉尼傳感器
8.
涂層腔體尺寸,?200 mm*L200mm,容積約6.28L
9.
旋轉(zhuǎn)架尺寸:?170mm*L170mm
10.
真空泵系統(tǒng):雙級(jí)螺旋泵 16 m3/h, 萊寶
D16B
11.
連接件:25mm真空管,泵與主機(jī)連接件,6 bars 干燥無油的空氣
12.
外尺寸:W700*D500*H700mm
13.
電源電壓:400V/16A/50-60Hz
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