| 日本KOFLOC-5400系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封 |
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5100系列
日本KOFLOC
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m?/s以下 內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì) ±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用 適用于高真空、半導(dǎo)體以及對管路潔凈度高要求場合 性能參數(shù)
電氣連接
使用注意 一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。 二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。 三:安裝前,請將設(shè)備管路進行整體吹掃。 四:耐壓1.0Mpa,進口最大壓力3公斤。 五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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